【労働災害事例】半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒

半導体製造装置のメンテナンス作業中に中毒を起こしてしまった事例をご紹介

半導体メーカーがメンテナンスを行うために行ったベーキング作業 および酸化作業の打ち合わせ後、半導体製造装置に残留している 有害物質を検知管で測定する際に、有害物質が漏洩し、装置の傍を 通った際に被災してしまいました。 被災者は、事務所で約1時間休憩後も体調不良のため、メーカーの 産業医の診察を受け、さらに産業医の指示で大学病院で診察を受けたところ、 急性薬物中毒の診断を受け4日間の入院と...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社

【労働災害事例】使用した薬液の廃液処理を誤り塩化水素が発生

半導体素子製造工場で使用した薬液の廃液の処理を誤り、塩化水素が発生し作…

【事例概要】 ■発生場所 ・半導体素子製造工場でガリウム砒素ウエハーを製造しているクリーンルーム ■対策 ・廃液回収用ポリタンクは確実に蓋をし、又は適切な排気装置を設置するなどにより、 　ポリタンクから発生した化学物質の蒸気...

メーカー・取り扱い企業： 理研計器株式会社 本社