日本フッソ工業　半導体製造装置

ウエット洗浄装置

高純度フッ素樹脂コーティングは、金属イオン溶出によるデバイスの汚染を防ぎます。 ...【特徴】 ○表面の汚染物質の付着が少なくなる ○パーティクルが発生しにくい ○Siウェハのエッジのダメージが減少する ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度アップが可能 ○熱伝導の効率が向上 ○薬液透過による外部汚染を防止 ○金属槽が採用可能になることから、強度ア...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

日本フッソ工業　高純度（対パーティクル）

半導体製造設備等のパーティクル防止に役立ちます。

【特徴】 ○フッ素樹脂の付着防止性能は、パーティクル防止にも役立ちます。 ○当社ではクラス１００，０００以下のクリーンルームを擁し、異物の少ないコーティング皮膜をご提供します。 ○これらは半導体製造設備等で多くのご採用例があります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

日本フッソ工業　高純度（対溶出）

フッ素樹脂は、溶出による製品への汚染を防ぎます。

【特徴】 よくある課題 ○機器等母材からの金属溶出 ○一般的なライニング皮膜からの溶出 フッ素樹脂コーティングが解決します ○半導体・医薬等に代表される金属との非接触 ○高純度の維持 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社

フッ素樹脂コーティング講座　セミコン用のコーティング

半導体製造装置部品への適用に最適！特性をわかりやすく表で解説！

セミコン用途としてのフッ素樹脂コーティングの対象は、主に半導体製造装置部品への適用となります。また、製造装置の種類としては、洗浄装置、ＣＭＰ装置、メッキ装置、搬送・固定用途、廃ガス・廃液系に分類されます。 フッ素樹脂コーティングは熱可塑性樹脂のため、溶...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社