半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜空気調和システム＞

極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測！全レンジ50kPaの高耐圧…

半導体製造プロセスの空気調和システムにおける、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 極微差圧(10Pa)レンジから高感度に計測でき、全レンジ50kPaの 高耐圧を実現した、シリコンキャパシタンスセンサが利用可能。 微差圧計測のIO-Link対応を開始し、空調システムの進化に対応します。 【空気調和システム圧力計測分野】 ■ドライエアー ■N2ガス ■排ガス ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社

半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞

薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事…

薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ■レジスト液 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社