半導体用発熱体

半導体用発熱体

横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての 炉に対して提供が可能です。 またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化 への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー

スーパータル　シングルウェハーリアクター

電子・半導体業界用！1枚のウェハー製造用ヒーターモジュール

従来のシリコンデバイス用途のみならず、シリコン系パワーデバイス(IGBT)の熱処理用途や化合物半導体(GaN、SiC)のアニール処理、エピ成長装置としてご検討下さい。 ...半導体ウェハー枚葉熱処理用ヒーターモジュール □■特徴■□ ■耐熱性に優れた断熱材と二珪化モリブデンヒーターの一体型モジュール ■小スペースに大容量の出力が可能 ■精密な温度制御が可能 ■タイプ：SWR...

メーカー・取り扱い企業： アレイマジャパン株式会社 カンタルカンパニー