In-Line Sputtering System

平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備

In-Line Sputter Systemは平板ガラス基板の上に薄膜をコーティングする装備で連続的な大量生産に最適な競争力を持ちます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

Batch Type Sputtering System

一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式

Batch Type Sputtering Systemは一つのチャンバーに基板を搭載して生産する方式で多くのコスト削減が実現できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ

Smart film Vacuum Conditioner

PET Filmの前処理　&　Filmの熱収縮の調整　＆ITO膜の連続…

で、Filmの熱収縮の調整（平坦化）、ITO膜の連続的な結晶化処理が可能な設備です。 ■装備特徴 • Flimを無張力で熱処理して0.1%以下の極低熱収縮Filmを生産 • 均一な基板温度に加熱可能 (基材の平坦化) • プラズマ区間（Treatment）がRewinding Chamberに位置してProcess Chamber•の高真空を維持 • Squeeze V...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＵＫＷＯＮ