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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング(IBE)装置です。 微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。 【特長】 ○Au, Pt, 磁性材等を容易にエッチング ...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…
に形状加工された微細構造物の平滑化やエッチング加工、表面加工が可能です。 【特長】 ■ナノオーダーの微細加工に適しています ■Ra 数ナノメートルの平坦化加工 ■反応性ガス処理対応 ■基板表面温度100℃以下での加工可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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