• サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111

    100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。 外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414

    50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ

    サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。 ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージコントローラ FC-514 製品画像

    10nmフィードバックステージコントローラ FC-514

    10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

    10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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