コリオリ式マスフローコントローラ/メータ　Quantimシリーズ

コリオリ式微小流量の測定と制御の業界標準！幅広い流量レンジで液体・ガス…

その結果、条件が変化する場合でも、精度、安定性、繰り返し性、再現性の 高いマスフロー測定と制御を実現し、卓越したパフォーマンスを提供します。 【特長】 ■正確なマスフロー測定 ■正確な密度測定 ■低質量流量センサパイプによる100%の流体量（バイパスなし） ■独自の光学検出法により、微少流量でも高精度計測が可能 ■幅広い流量レンジで液体・ガス両方の計測を実行 ※詳しくは関連...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできる…

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウ...

メーカー・取り扱い企業： ブロンコスト・ジャパン株式会社