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扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易!6種類のターゲットが使用…
『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE(PLD)システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度:6.7×10^-7Pa(5×10^-9To...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社パスカル
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