【技術資料】真空紫外光を用いたポリマーの改質と照射雰囲気効果

真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術！改質効果の違いについて検討

高分子は軽量、フレキシブルなため、様々な用途で用いられており、近年 着目される手法に真空紫外（VUV）光を用いた表面改質技術があります。 VUV光は短波長で光子エネルギーが高いため、非熱過程で分子の結合を 切断することが可能。 物理的表面処理として代表的なプラズマ処理等と比べ、低コストかつ表面への ダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー

【技術資料】真空紫外光照射によるゾル－ゲル薄膜の改質

紫外・可視光透過スペクトルを分光光度計により測定！ゾル－ゲル薄膜の改質…

上に強固な膜を得るのは難しいです。 そこで、真空紫外（VUV）光を用いた光量子（フォトン）プロセスは、照射に よる熱過程をともなわずに、光子の作用のみで原子の結合を切断できるため、 薄膜の改質にも応用できると考えられます。 当資料では、ゾル－ゲル法により調整した酸化ニッケル薄膜に、実用的な 光源として開発されてきたエキシマランプを用いてVUV光を照射したときの 状態変化について...

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【技術資料】ポリビニルアルコール薄膜の表面改質

真空紫外エキシマランプを使用！ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…

真空紫外（VUV）光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ（172nm）...

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【技術資料】真空紫外エキシマランプを用いたポリエチレンの表面改質

波長172nmの真空紫外光をポリエチレンシートに照射！表面の改質につい…

1980年代後半に、誘電体バリア放電を利用した強力な真空紫外光源である キセノンエキシマランプが開発されました。 この光源で得られる波長172nmの光は、7.2eVという高いエネルギーを持ち、 様々な分子内結合を効率よく光解離が可能。 このため、ランプは液晶表示パネルに使われるガラス基板の精密光洗浄などに 実用化されているのを始め、様々な応用展開が図られています。 本研究で...

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エキシマ照射装置　チューブタイプ

従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！

株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が...

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【技術資料】真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理

光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可…

真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当資料では、光表面処理法の効果を原子間力顕微鏡（AFM）を用いて 調べた結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに...

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株式会社クォークテクノロジー 製品カタログ

光応用技術を利用した各種産業用設備機器を掲載！

グは、主に紫外線照射装置製造販売・露光装置製造販売・その他、 各種石英、セラミック商品の取扱いを行う株式会社クォークテクノロジーの 製品カタログです。 半導体製造装置などの各種フィルム表面改質装置などに利用される「エキシマ 照射装置」をはじめ、「UV-LED照射装置」や各種測定器を掲載しています。 お客様の用途に応じて様々な製品をお選び頂けます。 【掲載内容】 ■会社概要...

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【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性

「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用！光CVD法の製膜速度に…

金属や高分子材料の表面に薄膜を製膜することにより、材料表面の 機械的性質、熱的性質、化学的性質、電気的性質をコントロールする ことができます。 この表面改質に用いる薄膜の製膜方法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高...

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【技術資料】キセノンエキシマ真空紫外光ランプの高出力化

1～2kW／m2の光照度の実現！高出力化に必要な要素技術の検討

ランプが開発されました。 例えば、キセノンガスを用いたエキシマランプでは、波長172nmの 真空紫外光を、100W／m2という高い光照度で生み出すことができ、 材料表面の光分解洗浄や光表面改質などに盛んに応用が進んでいます。 本発表では、従来のランプより10～20倍明るい、1～2kW／m2の 光照度の実現を念頭に置いて、高出力化に必要な要素技術の検討を 行いました。 【掲...

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