半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

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製品改善、運転条件の最適化、予兆保全システム

シミュレーション、統計解析、機械学習技術を活用し、設備のフィールドデー…

シミュレーション技術と信頼性評価、設備保全に関する知見を組み合わせ、データ収集・可視化から分析、製品の改善や運転条件の最適化、予兆保全に関わる仕組みの構築を支援致しております。 主な対象設備としては ・各種プラント ・半導体製造装置 ・空調システム 等が挙げられます。 本検討にはお客様のご要望、目的に応じて以下のようなツール、システムを使い分け仕組み構築をサポートします。 ...

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アークプラズマシミュレーションソフト『VizSpark』

遮断器やリレーのアークプラズマ解析に。プラズマの専門家が開発。電気自動…

アーク放電専用解析ソフト『VizSpark』は、アークプラズマの 特性だけではなく、固体との熱のやり取り・磁場・流れとの連成を 考慮に入れているため、幅広い目的に活用することが可能です。 アークプラズマにより発生する熱、発熱に伴う圧力・温度上昇のほか、 アークプラズマのエネルギー効率などを解析できます。 【特長】 ■プラズマシミュレーションの専門家が設立した 　米国Esgee...

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FaultTree+活用セミナーの動画を公開

機能安全対応でFaultTree+を用いる際に役立つ機能、及びFaul…

【セミナーの概要】 １．システムFTAと定量評価のためのFTAについて ２．安全機構（SM）の表現方法について ３．共通原因故障の表現方法について ４．カットセット分析とその情報の見方 ５．故障率DB(Prediction)連携、ライブラリー機能を活用したモデルの再利用や統合 ６．FT図初期値作成の自動化...FaultTree+ は英国Isograph社の主要製品であり、1986...

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高速プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS/DL』

機械学習データをCAE解析モデルから生成！プラズマ解析での計算結果を手…

『Particle-PLUS/DL』は、従来のプラズマシミュレーションでの課題を 解決するCAE代理(サロゲート)モデルソフトウェアです。 「第四の科学」として注目を浴びている深層学習×CAEを融合。 高速計算でパラメトリックスタディを実現し、プラズマ解析の 初期の検討で活用が期待できます。 また、機械学習の学習データをCAE解析モデルから生成する為、 大量の実験データがなく...

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【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

本論文では、V2O5(1 0 0)表面などに 水分子が吸着した場合の挙動解析をMaterialsStudioを使用することで行っております ◇2D層の表面上の官能基と状態密度、吸着性の関係性解析などが可能です。 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス(MI)」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト ■より効率よく、より簡単に、新規材料開発に役立ちます ...

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表面処理の特性予測ソリューション

複数の解析ソフトウェアを駆使した表面処理の特性予測ソリューションを提案…

CAEソフトウェア・分子モデリング・分子シミュレーションソフトウェアを組み合わせることで、より広い解析対象をカバー！ たとえば、調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性など プラズマプロセス装置の解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します！ 【解析対象となる物理現象】 ・結合と活性化 ・成膜 ・スパッタや浸食 ・脱離や洗浄　　　など 【評価可能な表面特性例】 ・原料ガスや...

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【事例】MaterialsStudioのSTMシュミレーション

『Materials Studio』でのPd上にあるCOのSTM像…

『Materials Studio』を活用した【事例紹介】 ◇「Pd上にあるCOのSTM像シュミレーション」の事例 ・STMシミュレーションでPdに吸着したCOの違いを非常に簡単に区別できます。 ・STMイメージの形状は、コントラストが主にCO分子のπ軌道によるものであることを示唆しています。 ・色は状態の合計密度に対応し、白い領域は最高の状態密度（DOS）に対応します。 ◇...

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【事例】MaterialsStudio充電放電 における電極膨張

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

◇充電 / 放電 における電極膨張事例紹介 ・こちらは、電極の体積を計算、プロットし、活物質の変化を見ています ・アノードは、Liインターカレーションによるグラファイト層間結合が弱まり、体積増加につながっていると思われる ・カソードでは、Liイオン減少とともに、体積は増加します 【製品特長】 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 ■材料開発を効率化するシュミレーション...

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【実験できない範囲も解析が可能】表面処理の特性予測ソリューション

専門知識を持った技術者がサポート！各種解析ソフトを組み合わせる事で、表…

複数の解析ソフトウェアを駆使した『表面処理の特性予測ソリューション』を ご提案いたします。 解析ソフトウェアである「CAEソフトウェア」「分子モデリング」 「分子シミュレーションソフトウェア」を組み合わせることで、 より広い解析対象をカバー。 調べたい材料表面の作成/処理過程＆材料特性などプラズマプロセス装置の 解析と表面状態の特性予測をまとめて提供します。 【特長】 ...

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『Simerics MP for SOLIDWORKS』

SOLIDWORKS上で高度な解析が簡単に行える！開発期間の短縮やコス…

『Simerics MP for SOLIDWORKS』はSOLIDWORKS上で操作できる CAD統合型熱流体解析ソフトウェアです。 SOLIDWORKSのGUIに統合され、設計から解析まで設計者自身で行えます。 計算設定も簡単なため、短期間で操作の習得が可能。 最適形状の検討や、問題の原因究明、性能の確認など 従来は外部に依頼していた各種解析を設計者自身で行うことで 開発期...

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【資料】“Pipeline Pilot”の解析事例のご紹介

「金属の輸送特性計算」をはじめ、「ガラス転移温度を求めるシュミレーショ…

当資料では、『Pipeline Pilot』の解析事例をご紹介しております。 「金属の輸送特性計算」をはじめ、「ガラス転移温度を求めるシュミ レーション」、「解析データの整理とクラスタリング」などを掲載。 Pipeline Pilotは、大量なデータ処理や解析、作業の自動化や ワークフローの可視化を実現するツールです。 【掲載内容（抜粋）】 ■金属の輸送特性計算 ■ガラス...

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【Pipeline Pilot】多目的変数問題についての事例

Pipeline Pilotを用いた場合における多目的変数問題について…

当資料では、Pipeline Pilotを用いた場合の多目的変数問題 についての事例をご紹介しております。 「分子構造によるクラスタリング」をはじめ、「多目的変数への アプローチの概要」、「多目的最適化の例で扱ったデータ」などを掲載。 Pipeline Pilotは、多種多様な機能を用いて、さまざまな処理を可能にする ツールで、簡潔なGUIによるデータ処理の簡潔化、効率化を実現し...

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【資料】ストリーマー放電計算の最適化

「VizGlow」を使用し解説！説明変数と目的変数や最適化がどのように…

資料では『ストリーマー放電計算の最適化』について詳しく解説しています。 「ストリーマー放電計算」をはじめ、「説明変数と目的変数」、 「最適化がどのように進むか」な掲載。 最適化とシミュレーションを組み合わせる例として、プラズマ装置の 動作条件の探索を行うため、プラズマ装置のシミュレーションには、 当社取り扱いソフトの「VizGlow」を用いています。 【掲載内容（抜粋）】 ...

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【資料】Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告

ワークフローの可視化を実現するツールを使用したサイクル寿命予測について…

当資料では、Pipeline Pilotを用いて機械学習をした場合における Liイオン充電池のサイクル寿命予測についての報告を掲載しております。 「背景」、「流れ」、「結果」、「考察」をそれぞれご紹介。 Pipeline Pilotは、大量なデータ処理や解析、作業の自動化や ワークフローの可視化を実現するツールです。 【掲載内容】 ■背景：(1)Liイオン充電池とそのサイク...

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【資料】ベイズ最適化

全体の形が未知の関数や微分ができない関数の最大値・最小値を探索的に求め…

『ベイズ最適化』とは、全体の形が未知の関数や微分ができない関数の 最大値または最小値を、関数の形を推定しながら探索的に求める手法です。 未知の評価にとても時間やコストがかかるような状況で、いかに少ない 評価回数で好適な値を探せるかがポイントです。 当資料ではこの他に「FA分野での活用事例」や「システム連携・幅広い提案」 「Pipeline Pilotの製品概要」などを掲載しており...

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【動画事例】Pipeline Pilotの機能紹介と解析事例

膨大なデータ処理や煩雑な解析に必要不可欠な強力ツール

当動画では、『Pipeline Pilot』の機能と解析事例をご紹介いたします。 Pipeline Pilotは、大量なデータ処理や解析、作業の自動化や ワークフローの可視化を実現するツールです。 【内容】 ・なぜPipeline Pilotが必要なのか ・Pipeline Pilotの機能と特徴 ・Pipeline Pilotを用いた機械学習による解析例 ※ご質問や不明...

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『振動データを用いた故障時期予測』

お手元のデータで故障予知、品質向上に！

『振動データを用いた故障時期予測』は弊社のデータマイニングサービス及びコンサルティングサービスです。 振動データ解析では、監視の方法やお手持ちのデータにより実施方法がいくつか想定されます。 本資料では振動データを用いた予測の手法とユーザー事例を分かりやすくご紹介します。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【分析方針】 ・定期的な計測に基づく相関分...

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プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...

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マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCC...

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材料開発シミュレーション『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

ツールを活用し連携する事により、より効率よく、より簡単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利...

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半導体材料開発解析ソフト『Materials Studio』

「マテリアルズインフォマティクス」に有効な材料開発シミュレーションソフ…

ツールを活用し連携する事により、より効率よく、より簡単に、 新規材料開発に役立ちます。 ■「マテリアルズインフォマティクス」にも最適 量子力学、古典力学、メソスケール、統計、分析/結晶化ツールを備えた 次世代材料開発向け分子モデリング/シミュレーションツール群です。 【特長】 ■材料開発を効率化するシュミレーションソフト 　業界分野を問わず、研究、開発、設計、製造に従事される方にご利...

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CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグ...

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ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

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【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必...

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事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する3Dでの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体...

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【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレー...

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【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界...

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【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、 RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても 高速にシミュレーションを行うことができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレ...

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)...

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

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【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(...

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2...

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