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従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生!
株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、瞬時...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な産業分野への応用が可…
真空紫外エキシマランプによる材料の光表面処理法には「安価」 「大面積処理が容易」などの特色があります。 その為、光洗浄や光薄膜形成、光改質や光化学修飾など、様々な 産業分野への応用が可能です。 当資料では、光表面処理法の効果を原子間力顕微鏡(AFM)を用いて 調べた結果をご紹介しております。 【掲載内容】 ■はじめに ■実験 ■結果 ※詳しくはPDF資料をご覧い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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真空紫外エキシマランプを使用!ポリビニルアルコールの化学構造がどう変化…
真空紫外(VUV)光は、短波長で光子エネルギーが高いため、 非熱過程で分子の結合を切断することができ、洗浄や微細加工、 表面改質などへの応用が進められています。 当資料では、金蒸着した基板にPVA水溶液をスピンコート後、 加熱処理を行い、膜を作製し窒素あるいは乾燥空気雰囲気下で キセノンエキシマランプ(172nm)を照射。 赤外分光器ならびにX線光電子分光分析装置を用い、VUV...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社クォークテクノロジー
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