【資料】真空コネクタソリューション

今後の装置に対して幅広いラインアップの気密封止型製品で「お客様の多様な…

レモのラインナップには真空気密レセプタクルと真空フィードスルーカプラーがあります。これらのモデルは、すべてのシリーズとサイズで提供可能であり、標準型タイプでは80℃までの温度で使用可能です。 高温環境では、300℃までにおいて、気密ソリューションをカスタム品として提供出来ます。 He漏れ率は1×10⁻⁸ Pa ㎥/s （1×10⁻⁷mbar.ℓ/s）以下です。より低い漏れ率が必要な場合は、...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウ…

レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。 標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。 これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。 主なアプリケーション分野： ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社