超高真空L型オールメタルバルブ

優れた許容加熱性！400℃または450℃までベークアウトが可能

『超高真空L型オールメタルバルブ』は、10^-8Pa以下まで使用できる 全金属製の製品です。 バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用。 全溶接構造で、真空にさらされる個所はオイルフリーで清浄です。また、 弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を 採用しています。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

L型バルブ『Vシリーズ』

豊富な接続フランジ！バルブボディはステンレス鋼を使用

『Vシリーズ』は、長寿命化とメンテナンス性向上を図ったL型バルブで バルブに内蔵しているベローズは、材質にハステロイ合金を採用しています。 標準でバルブに使用しているエアーシリンダには全て、 開閉用のポジションセンサスイッチ(磁気センサー)を装備。 バルブボディはステンレス鋼を用いており、特殊な接続フランジも容易に 溶接接合できます。また、バルブ内部部品洗浄作業及び保守部品交換作...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社