特殊形状ベローズ

取付誤差吸収用から伸縮変位用と様々なニーズに合った製品を御提案致します…

ニーズに合った製品を御提案致します。 【特長】 ■矩形ベローズシリーズ ・チャンバーとチャンバーの接続部やチャンバーとゲートバルブの 　接続部の取り付け誤差吸収用 ・折込ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■長円形ベローズシリーズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で 　変位性能を向上させた製品 ・成形ベローズと溶接ベローズの2種類ご用意 ■自由形...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

溶接ベローズ

エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある溶接ベローズのご紹…

『溶接ベローズ』は、精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に 溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。 コンパクトで大きい伸縮量が得られる「NS,NA規格溶接べローズ」と、 一山...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

高性能成形ベローズ『LFB/SFB』

コンパクト設計が可能！溶接ベローズ並みの高寿命を実現する高性能成形ベロ…

『LFB/SFB』は、入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 「LFB」は、溶接ベローズ並みの高寿命を実現(100万回)した ロイヤル成形ベローズです。 優れた耐食性を有しており、Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 650°に於いてSUS316Lの常温引張強...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『ベローズ式直進導入機　手動タイプ(ILD-M)』

基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！入江工研のベローズ式直線導入機

『ベローズ式直線導入機』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただいております。 他にも、自動式のものもご用意しているの...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

高真空アングルバルブシリーズ

片側回転フランジのため、取付けが容易！3種類の接続形式に、手動及び自動…

『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『ベローズ式コンパクト直進導入機(ILC)』

コンパクトタイプの直線導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『ベローズ式コンパクト直線導入機(ILC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 長ストロークを可能にした直線方向に駆動するタイプの導入機です。 基板用ステージの昇降やウェハーの搬送などにご使用いただけます。 また、非常にコンパクトなILCの他にも通常サ...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社

導入機『コンパクト回転導入機(IRC)』

コンパクトタイプの回転導入機！基板用ステージの昇降・ウェハーの搬送に！

『コンパクト回転導入機(IRC)』は、高性能の溶接ベローズを内蔵し、 高真空を遮断し、回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 超高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精...

メーカー・取り扱い企業： 入江工研株式会社