オート式露光装置

190WPHの高スループットを実現したマスクアライナ

に､新開発のアライメント画像処理には､任意座標指定のサーチおよび､インテリジェントθサーチとの複合サーチを行うオートアライメントを採用しました｡また､安定した視認性を実現するために､顕微鏡のハロゲン照明は画像処理により､照度減衰もフィードバックする新機構も搭載しています｡ オペレータはフォトマスクとウエハをセットし､あらかじめ記憶されている露光レシピを選択するだけで､ウエハ搬送からフォトマスクと...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社

マニュアル露光装置

顕微鏡オート移動など､生産性､使い勝手に優れたアライナ

正確にコンタクトする方式を採用しています｡ 2.アライメント顕微鏡は､アライメントマークが探しやすいように自在移動が可能です(ロック機構付)。 3.アライメント顕微鏡はズーム式の高倍率タイプで､照明はレジストにより色の選択が可能なLED照明を搭載しています｡ 4.作業のタクトを高めるために､ランプハウスとアライメント顕微鏡が自動で挿入､退避することから､生産性アップを実現します｡...

メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社