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無菌室向け 二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』
PR高精度計測器を搭載し、低濃度0.05ppm~高濃度1200ppm まで…
当社トラステック愛知が得意とするのは二酸化塩素の高精度の濃度計測と制御管理。 その技術を用いて開発したのが、二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』です。 除染効果の高い二酸化塩素ガスを用いた除染装置で、 精度に優れたガスの濃度測定と、ガスの制御機能を有しています。 搭載された高精度計測器により、低濃度0.05~高濃度1200ppm(校正値1000ppm 検知管使用 当社...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トラステック愛知 本社
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ドラフト構造でクリーンルーム仕様!エッチング処理やレジスト除去する装置
「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。 使用不可となった薬液(フッ酸、 塩化鉄)と、有機溶剤(アセトン)は付設の専用タンクへ一括排出します。 クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。 【...
メーカー・取り扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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大気中のトリチウム濃度を分析測定!サンプリング実験装置
大気中トリチウム捕集装置 「AT-503-H7S型」は、大気のトリチウム濃度を分析測定するためのサンプリング実験装置です。 大気中の水素成分を化学形別(HTO・HT・CH3T)に捕集し、捕集後、モリキュラーシーブ(吸湿剤)を加熱脱湿して、水分の回収までを自動で行います。 【特徴】 ○捕集にはモリキュラーシーブと酸化触媒を組み合わせ、HTOはモリキュラーシーブで回収 ○HT・CH3Tは酸...
メーカー・取り扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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