クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソ...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

クライオポンプ　MARATHON　CP-250LP

よりクリーンな真空、より高度な真空制御、より広範な真空圧力領域

MARATHON CP-250LP CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。HC-8E4又はF-70圧縮機1台で、最大2台のクライオポンプを運転可能です。 詳しくはお問...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

クライオポンプ　MARATHON CP-16 CRYOPUMP

スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。

MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター