『シリコンエッチング』加工技術紹介

結晶方向の種類を選ぶことで溝加工の種類を選択可能！

『シリコンエッチング』は、シリコン基板そのものを腐食させ、立体 構造を形成する加工技術です。 シリコンの腐食には、一定方向に進むもの（異方性）と、全方向に進む もの（等方性）とがあります。 異方性エッチングを行う場合、基板には単結晶の...

メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社

『ガラスエッチング』加工技術紹介

ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で腐食！

『ガラスエッチング』は、ガラスの表面をフッ化水素などの薬品で 腐食させ、溝や段彫り加工などを施す加工技術です。 基板材として、石英や、BK7などのホウ珪酸ガラスを使用。 また、フォトリソなとでパターニングされたメタル薄膜をマスクとして 使用するので、高精...

メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社