真空フィードスルー『VFT シリーズ』

350 ℃までの高温対応！真空チャンバー用の真空フィードスルー

『VFT シリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリング および薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の 超高真空アプリケーション用アクセサリです。 真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。 コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。 【特長】 ■NEMA 筐体および高圧アプリケーション内で適切に機...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

【用途別事例】半導体製造装置用光学部品

半導体製造装置用光学部品に使用する事が出来るコーティング製品群です。

【対応可能光源】 ■超高圧水銀灯（g/h/i-line）対応ARコート ■超高圧水銀灯（g/h/ｉ-line）対応AL増反射ミラー ■365nmHR ■無偏光ビームスプリッター（ハイブリッドタイプ） ■780nmP...

メーカー・取り扱い企業： CBCオプテックス株式会社