GCIB（ガスクラスターイオンビーム）装置

コンパクト構造で、シンプルで低価格な設計になっています。超平坦化加工と…

照射可能 ・N2, O2, CO2, SF6, CF4, CHF3, B2H6 ○自由度 ・ガスクラスターイオンビーム装置設計時からお客様のご要望を可能な限り反映させ、お客様だけの特注の研究・量産設備に仕上げる ・GCIBアシスト蒸着装置製作も対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

イオンビームスパッタリング装置

RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…

お客様用途に合わせて、研究開発用、量産用に装置設計いたします。 【装置特長】 ・プロセス動作圧10-2Pa台(10-4Torr台) 　高真空成膜可能 ・コンタミネーションが少ない ・無加熱成膜可能 ・高密度膜 ・反応性成膜...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

アールエムテック　サービス案内

マザーテクノロジーで未来を拓く　アールムテック　サービスご紹介

ャー・コントローラー ●DP-eco 電気代削減で環境に優しいDP用省エネ・ユニット ●イオンビームエッチング/スパッタリング装置 お客様仕様に合わせて設計致します。 小型実験機～CtoC量産装置に対応。 ●消耗品 ●薄膜材料 ●KRI社製イオンソース 　DC、RF、エンドホール...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社