小型電子線鏡筒『MINI-EOC』

低加速SEM・計測用/解析用電子線源として使用可能！組込可能な小型電子…

小型電子線鏡筒『MINI-EOC』は、Schottkyエミッタを用いた組込可能な電子線鏡筒で、 既存の装置へ追加する事ができます。 主に大電流密度や低加速を要求される計測や解析(LEED(低速電子回折)、 AES(オージェ電子分光法)、EDS(エネルギー分散分光法)、 EELS(電子エネルギー損失分光法))等に応用できます。 超高真空対応のSPM(走査プローブ顕微鏡)等と組み合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ

高性能ウェハ・マスク破断装置『AMCシリーズ』

SEM用断面観察試料を簡単に作製！最小±2.5μmの位置精度でのけがき…

る為の装置です。 加工プロセスは、モニターを見ながらけがき位置のティーチングし、自動でけがきを開始します。 観察部は自動スキップされ、けがきによる内部応力を利用して試料を破断します。 電子顕微鏡のサンプルホルダー等に挿入できるように試料を切り出します。 『AMCシリーズ』は、短時間で精度よく簡単に断面試料を作製することができます。 【特長】 ■最小±2.5μmの位置精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アプコ