分析用ガスの除湿に『FORBLUEサンセップSWGシリーズ』

PRガス成分は失わず、水蒸気のみを除去できます。ガス分析のサンプルガスなど…

【主な特長】 ■水蒸気以外のガス成分を外に逃がさない 　非多孔膜を使用しているため、ガス成分はそのままで除湿ができます。 ■取り付けが容易で電源不要 　サンセップは電源を使用せず、配線不要です。防爆エリアでの使用も可能で、ノイズの発生もありません。 ■メンテナンス不要 　機械的な可動部品や消耗品がないため、メンテナンスは不要です。 ■小型・軽量 　さらに、取り付け姿勢に...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

【仕様】 ○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可） ○処理室：AL製（シングルチャンバー） ○RF電源：600Ｗ　13.56MHz　オートチューニング ○処理ガス →O2：1000SCCM →CF4：500SCCM →1系統増設可（オプション） ○パージガス：N2 ○スループット：300...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

バッチ式プラズマクリーナー　PT-655S

本製品は、平行平板型のプラズマ処理装置です。

A5052）製 ○ステージ段数 標準3ステージ（オプション 増設1ステージ対応可） ○チャンバー寸法 幅500×奥580×高500ｍｍ ○ステージ寸法 幅340×奥420ｍｍ ○ＲＦ電源 600Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス O2、Ar（オプション　1ライン増設可） ○パージガス N2（スローライン有） ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

枚葉式プラズマ処理装置　WLP-611S、WLP-600S

価格は低廉であり、搭載されたシーケンサにより各エッチング条件の管理を行…

【仕様】 ○処理方式 平行平板プラズマ励起方式（ＤＰ／ＲＩＥ切替可） ○処理室 ＡＬ製（シングルチャンバー） ○ＲＦ電源 600～1000Ｗ ○処理ガス Ｏ２　1000ＳＣＣＭ ○1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○スループット 3000枚／400時間（ポリイミド膜１μｍエッチング時） ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト

バッチ式プラズマ処理装置　WPA-600S

価格は低廉でありながら搭載しているシーケンサ。各アッシング条件の管理を…

【仕様】 ○処理方式 同軸バレル型 ○処理室 円筒・縦型・石英チャンバー ○ＲＦ電源 600～2000Ｗ　13.56ＭＨｚ　オートチューニング ○処理ガス Ｏ２　1系統増設可（オプション） ○パージガス Ｎ２ ○処理ステップ 10レシピ（3ステップ）＋10ヒーターレシピ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エスクラフト