無菌室向け 二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』

PR高精度計測器を搭載し、低濃度0.05ppm～高濃度1200ppm まで…

当社トラステック愛知が得意とするのは二酸化塩素の高精度の濃度計測と制御管理。 その技術を用いて開発したのが、二酸化塩素ガス除染装置『Weraser ZERO』です。 除染効果の高い二酸化塩素ガスを用いた除染装置で、 精度に優れたガスの濃度測定と、ガスの制御機能を有しています。 搭載された高精度計測器により、低濃度0.05～高濃度1200ppm（校正値1000ppm　検知管使用　当社...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

ケミカルフィルタシステム「リソガード12」

ArF液浸露光など、ハイエンド半導体露光装置向けケミカルフィルタシステ…

90 ○ケミカルフィルタ品番：P512612 ○設定風量：2,600m3/hr ○寸法：幅850mm×高さ1,850mm×奥行1,200mm ○概算重量（フィルタ込）：600kg ○操作用電源：不要 ○気密用圧縮空気：不要 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ドナルドソン株式会社