レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

レビュー用顕微鏡搭載！検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

ます。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥種ごとに弁別します。 ■装置の特長 ・高速検査（約181秒/12inch） ・レビュー用顕微鏡を搭載 ・顕微鏡はレーザー顕微鏡/微分干渉顕微鏡のどちらか選択可能 ・SEM等での分析用に顕微鏡を利用した高精度なケガキが可能 ・オプションでエッジ検査機能の搭載が可能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

ウェハ表面欠陥検査装置（画像式）

透明素材にも対応する高精度検査装置

微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装