保有設備一覧

当資料では、弊社が得意とする「薄膜パターニング加工」関連の保有設備について掲載しております。

”物作りへのこだわり”を大切にし、お客様へ価値あるQ（品質）、C（コスト）、D（納期）、S（サービス）を提供し、社会に貢献する弊社の設備一覧をご覧ください。

【保有設備(抜粋)】
■洗浄工程
・バッチ式洗浄装置
・枚葉式洗浄装置
■成膜工程
・スパッタ成膜機
■フォトリソ工程（塗布/レジスト、露光、現像）
・ロールコーター
・スピンコーター
・バーコーター
・スクリーン印刷
・露光機
・枚葉式
・バッチ槽
■エッチング工程（ウエットエッチング、剥離/レジスト）
・枚葉式（ITO）
・シャワー式（Cu,Al,Cr）
・バッチ槽

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『保護膜・絶縁膜塗布』を承っております。

レジスト、ポリイミド等に加工でき、他の支給材でも対応可能。

レジストの場合、ロールコーター、スピンコーター共に1～2μmで、
ポリイミド等ご要望に応じ膜厚調整可能です。（～5μm）

スピンコーターは、有効エリアがφ300mmの場合、最大300mm×300mmに
加工できます。

【特長】
＜加工可能膜種＞
■レジスト、ポリイミド等（他の支給材でも対応可）
＜膜厚＞
■レジストの場合、ロールコーター、スピンコーター共に1～2μm
■ポリイミド等ご要望に応じ膜厚調整可能（～5μm）
　→スピンコーターでの塗布

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『装置評価用基板作成』を承っております。

装置の評価用基板を少ロット多品種でも試作供給。有機EL封止装置の
評価用ガラス基板の作成も可能です。

また、パターン認識が必要な光学系機器の性能評価基板も対応します。

“評価調整用基板、基準基板のカスタマイズを頼めるとこは無いか？”と
お悩みの際は、お気軽にお問い合わせください。

【アプリケーション例】
■パターン認識が必要な光学系機器の性能評価基板
　※露光機等の高価な装置購入を検討する際の性能評価にも
■有機EL封止装置の評価用ガラス基板の作
■装置の評価用基板を少ロット多品種でも試作供給

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当社では、『感光性樹脂パターニング』を承っております。

有効エリアがφ300mmの場合、加工サイズは最大300mm×300mm。
レジスト、ポリイミド、樹脂ブラック、感光Ag（MAX170□）等に
加工できます。

ポリイミドや感光Agのライン、スペースがどちらも10μmといった
加工実績を有しています。

【特長】
＜加工可能膜種＞
■レジスト、ポリイミド、樹脂ブラック、感光Ag（MAX170□）等
＜加工サイズ＞
■MAX：300mm×300mm　
　※有効エリア：φ300mm

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当社では、『外形切断加工及び面取り加工』を承っております。

スクライブ、ダイシング（外注）、糸面取りに対応。
基板は、ソーダガラス、無アルカリガラス、石英、ウェハ等で、
ご支給、当社手配が可能です。

厚さは、基材条件により0.1mm～10±0.05mとなっております。

【加工内容】
■スクライブ
■ダイシング（外注）
■糸面取り

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当社では、『微細構造物形成』を承っております。

各種レジスト剤でμm精度の型をカスタマイズして評価基板にて提供。

パターン形状は直線・円形（筒状）、アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）
可能で、3:1までの実績を有しています。

基材に凹凸のある高精度治具作製にご苦労されてませんか？
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■各種レジスト剤でμm精度の型をカスタマイズして評価基板にて提供
■パターン形状は直線・円形（筒状）可能
■アスペクト比は5：1（膜厚50μm以上）可能（3:1までの実績あり）

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『貼り合わせ加工（空セル製作等）』を承っております。

ガラス＋ガラス貼り合わせができ、段差カット可能。
シール材で貼り合わせを行い、ガラス＋ガラス間ギャップが0.01mmといった
加工実績を有しています。

最大400mm×360mmまでのガラス基板へ加工可能で、
薄さ上下0.2mm～対応できます。

【加工内容】
■ガラス＋ガラス貼り合わせ（段差カット可能）
■ガラス＋フィルム貼り合わせ（仕様要相談）

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『リフトオフ加工』を承っております。

エッチング加工が困難な薄膜をパターン加工する技術で、必要とする逆の
パターンをレジスト形成し、必要膜の成膜実施。成膜後、レジスト除去します。

有効エリアがφ300mmの場合、最大300mm×300mmまでのガラス基板へ
加工できます。

【特長】
■エッチング加工が困難な薄膜をパターン加工
■必要とする逆のパターンをレジスト形成し、必要膜の成膜実
■成膜後、レジスト除去
■成膜温度に指定あり（100℃前後）
■実例：Si、Pt、Ta等

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当社では、『微細メタルメッシュパターン加工』を承っております。

「メタルメッシュフィルムアンテナ」は、5Gのミニ基地局対応の為ビルや
車載への透明アンテナに対応。

フィルム基材外形サイズは、～A4（PET/PC等）の300×300mmまで検討でき、
ライン又はスペース5（3）～μmのCu配線加工も対応します。

また、直線や波型形状も対応致します。従来の薄膜パターニングや
めっきでのビルドアップ等ご相談下さい。

【特長】
＜メタルメッシュフィルムアンテナ＞
■5Gのミニ基地局対応の為ビルや車載への透明アンテナ対応
＜メタルメッシュフィルムヒーター＞
■従来のハロゲンの代替のLEDヘッド・リアライト化による着雪防止・融雪対策
■ADAS化をにらみ自動安全ブレーキのカメラ前のフロントガラスの霜・融雪対策

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当社では、『マスク作成』を承っております。

基板サイズ470×370まで対応可能。お客様の手書きによるイメージ図や
CAD図等をマスク図に変換しフォトマスク作製を行います。

種類は「Crマスク」をはじめ、「Emマスク」や「Filmマスク」を
ラインアップしております。

【特長】
■お客様の手書きによるイメージ図やCAD図等をマスク図に変換
■基板サイズ470×370まで対応可能
　※最小は4”×4”サイズ程

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当社が取り扱う『マイクロ流路チップ』をご紹介します。

当製品は、バイオや化学分析（システム）をマイクロスケール化する目的で、
溶液の混合、反応、分離、精製、検出など様々な化学操作をミクロ化し、
微細加工技術を用いて基板に集積化するものです。

アスペクト比は5：1可能。配線はガラス基板にパターニングできますので、
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【特長】
■流路幅：20μm～200μm（加工精度：±5μm～±10μm）
■流路深さ：5μm～100μm（加工精度：±2μm～±5μm）
■アスペクト比は5：1可能（膜厚50μm以上条件）
■数値に関してはカスタマイズできる
■配線はガラス基板にパターニング可能

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当社では、『スクリーン印刷』を承っております。

MINは100mm×100mmで、最大400mm×360mmまでのガラス基板へ加工可能。
L/S=100μm/100μmの加工実績を有しております。

基板はソーダガラス、無アルカリガラス、石英等となっております。
ご支給、当社手配両方可能ですので、ご用命の際はお気軽に
お問い合わせください。

【特長】
＜加工可能膜＞
■レジスト、Ag等
＜基板＞
■ソーダガラス、無アルカリガラス、石英等（ご支給、当社手配両方可）

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『微細構造物形成』のアプリケーション例をご紹介します。

当技術では、シュミレーションだけでなく実機に近い評価・検証が可能。
マスクを作成して同一基板上にL字・直線・円形（円柱）等複数の形を
線幅変えて分割形成できます。

基材はガラス・シリコンウエハ等も可能です。
ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。

【アプリケーション例】
■接着剤・接着フィルム・充填剤（半導体PKG内等）の追従性評価
■マイクロLED等のマイクロフォルダー
■太陽電池等のカバーガラススペーサー

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当社では、『FPC圧着加工』を承っております。

アライメント精度は±0.2mm。ACP、ACFに対応でき、当社で加工した
基板やご支給基板にFPC貼合致します。

最大300mm×300mmまでのガラス基板へ加工可能です。
FPCサイズは別途ご相談ください。

【特長】
＜加工サイズ＞
■MAX：300mm×300mmまでのガラス基板へ加工可能
■MIN：100mm×100mm（FPCサイズは別途ご相談）
＜加工精度＞
■アライメント：精度±0.2mm

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

・大判ガラスからの小片切断加工
・面取り
・ざぐり（ガラスエッチング）
 （詳細を見る）

エッチング技術でACF・有機EL・各種TEG・MEMS・太陽電池等へ小ロット1枚の試作から量産までのパターン加工の対応。

ガラス・PC、PET、PI等各種フイルム基材の加工もお受けいたします。

また基材及び成膜手配からもお受け致します。
当社が行っている『各種パターニング加工』についてご紹介いたします。

貼り合わせ加工（空セル製作等）をはじめ、感光性樹脂パターニング、
ITOヒーター加工など、さまざまな加工技術を保有。


※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

最近お問い合わせが多い透明レジスト塗布及び微細加工パターニング

絶縁性があり且つ透明性があるので
従来のＰｉに代わり基板の保護膜や層間絶縁膜に適しております。

厚膜のものはマイクロ流路の型の形成に （詳細を見る）

LCDの性能をフルに出す必要のある航空機や特殊車両モニター用途に！
監視カメラや視認性必要な機器の結露防止用ヒートガラスに！
マイクロ流路等観察しながら加熱したい化学分析、細胞培養実験用に！
浴室や洗面所の鏡の曇り防止に！ （詳細を見る）

テクノプリントの加工技術『ITOヒーター加工』をご紹介します。

当技術は、直接接触による熱伝達または非接触の輻射によって対象物を
加温します。

監視カメラや視認性が必要な機器の結露防止用ヒートガラスやLCDの性能を
フルに出す必要のある航空機や特殊車両モニターなどに適しています。

また、お問い合わせの多い「ITOヒーター標準サンプル品」をご用意しております。

【原理】
■電極に通電すると透明導電膜にてジュール熱が発生
■ガラスごと熱せられ、遠赤外線がガラス面から輻射
■直接接触による熱伝達または非接触の輻射によって対象物を加温

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

・自社のレジストを塗布だけしてほしいな。
・露光、現像だけお願いできる所はないかな？
・ 膜付の基板を剥離して欲しい！
・クリーンルーム下での作業がしたい。
・ 小さなガラスを出来るだけ安く手に入れたい！
 （詳細を見る）

弊社はこの度スパッタ成膜機を導入し
自社内でもスパッタ成膜が可能になりました。

〈こんな経験ありませんか？〉
・基板洗浄もしてほしい
・1バッチ内での成膜条件は固定？
・1バッチの枚数固定？1枚でも増えると2バッチ？
・成膜からパターニングまで短納期で頼みたい
・ガラス基板の手配から対応してほしい
・スパッタ成膜条件含めて相談したい
・成膜後のケースの手配含めて任せたい
・成膜後パターニング～個片カットまで一気通貫で加工できないか

弊社のスパッタ成膜加工はこのようなお悩みにお応えいたします。
〈特徴〉
・必要に応じ成膜前基板洗浄が可能
・小ロット短納期対応を検討致します
・加工枚数は小ロットで1枚～柔軟に対応
・小ロットで膜厚変更など成膜条件を振った加工も請負
・テスト成膜後ピーリングテスト結果通知しての本加工も可能
・成膜からパターニング・個片カットまで一気通貫で対応
・層間絶縁膜を介しての多層膜パターニングで短納期対応を実現

※対応できる膜種、サイズ、数量には条件がありますので詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）