スウェージロック・ジャパン
最終更新日：2022-10-11 16:56:40.0
常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」
基本情報 常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」
ALDバルブの常識を覆すパフォーマンス
超高純度用Swagelokダイヤフラム・バルブ ALD7は、数百万サイクルを超えても高い信頼性と精度のあるパフォーマンスを発揮するバルブが、デバイスの歩留まりの最大化を実現。
常識を覆すパフォーマンスとして「ALD7」を製品ラインアップに追加しました。
【特長】一貫性の追求：流量、スピード、温度、コンパクトなデザイン
・流量係数（Cv値）0.7
・開閉レスポンス・タイム（応答時間）5ミリ秒未満
・高温下での熱安定性
【新製品】超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」
超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD7」は、
半導体製造の原子層蒸着(ALD)に必要なプリカーサーなど
超高純度の流体を、高精度で安定供給できるバルブです。
製品ごとの個体差を減らしたことで、
流量、アクチュエーターの速度、熱安定性などの各種性能に一貫性があり、
バルブ間・プリカーサーの供給間・チャンバー間の
すべてにおいて高いパフォーマンスを発揮します。
【特長】
■コンパクトで高性能。省メンテナンスも実現
■数百万サイクルにわたり、プリカーサーの正確な供給が可能
■高速作動を実現。レスポンスタイムは最速5ms
■アクチュエーターは150℃、バルブ本体は200℃の優れた耐熱性
■ボディに当社独自の「316L VIM-VARステンレス鋼」を採用。高耐食を実現
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 （詳細を見る）
『原子層蒸着(ALD)用バルブ』※性能テスト結果付き技術資料進呈
スウェージロック社は、ALDバルブ技術で世界をリードする企業のひとつとして、
半導体デバイス製造アプリケーション向けのソリューションをお届けします。
【特長】
○非常に優れたサイクル・ライフを実現する独自のデザイン
○高速の開閉機能
○高温下でも安定した流量を実現
○シール性能に優れ、膨潤やコンタミネーションへの耐性にも優れたシート
常識を覆すパフォーマンス「ALD 7 」
半導体メーカーのデバイスの歩留まり向上に欠かせない一貫性と耐久性のニーズに対応すべく、超高純度用ダイヤフラム・バルブ「ALD 7」 を製品ラインアップに追加しました。 （詳細を見る）
取扱会社 常識を覆すパフォーマンス「ALD7超高純度用ダイヤフラム・バルブ」
米国スウェージロック社で製造される業界最高レベルのバルブや継手など、豊富な品揃えの流体システム製品の販売。流体制御に関するトータル・ソリューション・プロバイダーとして配管ユニット製作サービス（Swagelok(R)カスタム・ソリューションズ）の提案。各種技術セミナーなどのサービスの提供。
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