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      • システム【流量制御機器】FCS Pressure Series 製品画像

        システム【流量制御機器】FCS Pressure Series

        超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

        圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた…

      • システム【集積化ガスシステム】IGS(FS) 製品画像

        システム【集積化ガスシステム】IGS(FS)

        <FINE series PURE>超高純度用、集積化ガスシステムです。

        <特長> 1.基本技術の高性能化。 2.小型化。 3.信頼性の向上。 4.施工性、メンテナンス性の向上。 5.標準化の推進。 6.コストダウン。

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        システム【水分発生装置】WVG(FS)

        <FINE series PURE>超高純度用、 触媒反応を利用した、水分発生装置です。

        <特長> 1.触媒を利用した反応炉。 2.幅広い濃度制御範囲。 3.優れた安全性。 4.各種インターロック。 5.安全仕様。

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        【漏洩検査液】ファインバブル

        発泡性、浸透性に優れ、極めて少量を塗布するだけで、 微小なリークも確実に検出できます。

        <特長> 各種ガス用機器ならびに配管系の接合部・溶接部からの リーク検出にご使用下さい。

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