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      表面欠陥検査装置

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      高出力レーザーを照射することのより、ハードディスク表面やサファイヤ基板表面の微小欠陥を検出します。

      • ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式) 製品画像

        ウェハ表面欠陥検査装置(レーザー式)

        高出力レーザーで微小欠陥を検出!

        高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥…

      • ウェハ表面欠陥検査装置(画像式) 製品画像

        ウェハ表面欠陥検査装置(画像式)

        透明素材にも対応する高精度検査装置

        微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で 透明体材料にも適用しております。 全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の 顕微鏡観察が可能な装置です。 ■装置の特長 ・独自の画像処理技術による欠陥…

      • ウェハ外観検査装置(画像式) 製品画像

        ウェハ外観検査装置(画像式)

        ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

        ■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です! ・ウェハ(基板)の欠陥目視検査を自動化したい。 ・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。 ・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。 ・自…

      • レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置 製品画像

        レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置

        レビュー用顕微鏡搭載!検出した欠陥を顕微鏡でリアルタイムに観察可能です

        高出力レーザーを回転ステージ上のウェハに照射することで、 高速に全面を検査し、微小欠陥を検出します。 散乱、反射、位相シフトなど複数チャンネルの組合せによって 用途に適した欠陥検出ができ、凹凸など欠陥…

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