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装置スペースの有効活用に最適！シャフトモーター「マルチ駆動」で複数ジョブを同時進行、スペース効率改善に有効です
シャフトモーターは一軸上に可動子（コイルを内蔵した可動スライダー）を複数個配置することが可能です。スライダーのマルチ駆動です。スペースがある限り、いくつでも配置は可能。 それぞれのスライダーをそれぞれ…
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高応答性で高精度で俊敏な動作を実現
高応答性を活かした使用方法… ●１nmステップ送りが可能なシャフトモーター ●高速整定を実現した高精度ステージ ●高加減速で高速整定が可能なシャフトモーター ●軽量物（半導体チップなど）搬送に適したア…
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センサー不要の圧力制御（荷重制御）でシンプル構造のZ軸ユニットが実現可能！
■シャフトモーターは、電流値と推力の関係がリニアリティーをもって再現されるため、圧力制御に最適な特長を有しています。 ■推力の分解能も高く、ワークの特性にあったシャフトモーターをお選び頂けます。 ■ユ…
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低騒音、長寿命、シャフトモーター採用の高性能リニア単軸ロボット
『GHRシリーズ』は、効率よく推力を得られるシャフトモーター採用することで、 精密・高速リニア駆動、ロングストロークを実現した単軸ロボットです。 シンプル構造で取り付けが簡単な「GHR15」を…
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小型シャフトに新たなシリーズが登場！従来モデルと比較して推力アップを図ったシャフトモーター
『SXシリーズ』は、従来モデルと比較して推力アップを図った シャフトモーターです。 1本のシャフトでマルチ駆動可能が可能な「SX060」をはじめ、 耐久性が優れている「SX080」や形状的に…
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ガントリー（門型）に好適！ シャフトモーター「パラレル駆動」で同期作業なしに高精度ステージ構成が可能です
シャフトモーターの特性を活かすことで、並行する２軸を、同期させることなく、同期をしているように「同時駆動」することが可能です。 [シャフトモーターでパラレル駆動] シャフトモーター２軸＋エンコーダー１…
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磁石の磁束を360度無駄なく有効利用！ 効率的で剛性の高いリニアモーターです。
シャフ内部には、磁石をN極同士、S極同士を接合した構造になっており、 接合部から強い磁力線が発生しています。 このシャフトを取り囲むコイルに電流を流すと磁界が発生し、フレミングの 左手の法則により推…
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優れた高速度・定速性！シャフトモーターについてご紹介します
シャフトモーターは、磁石を円筒状(シャフト)に構成したユニークな形状の コアレスリニア型モーターです。 モーターはシャフト部とコイル部に分かれ、電流を流すことによって、 コイル部が非常に高速…
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可動子とシャフトの隙間が広い！ロングストロークが可能なシャフトモーター
当社では、シャフトモーター『Lシリーズ』を取り扱っております。 ラージギャップ仕様のため可動子とシャフトの隙間が広く、 ロングストロークが可能です。 耐久性が優れている「L250」をはじ…
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従来のリニアモーターとは違うシンプルで多彩な特長・性能を持ったリニアシャフトモーター
『Sシリーズ』は、高速・高効率・高精度位置決めが可能な シャフトモーターです。 形状的にボールねじ機構のリプレイスがしやすい「S040」をはじめ、 1台のドライバーで複数の同期パラレル駆動が…
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シャフトモーターはサーボモーター…ボールねじからの置換えもシンプルに！
シャフトモーターの駆動には以下のデバイスとの組合せが基本セットになります… ●シャフトモーター ●コントローラ/サーボアンプ ●リニアエンコーダー ●リニアガイド
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速度リップルがなく、等速移動を実現できるリニア・モーター
シャフトモーターＳシリーズ/Ｌシリーズ/ＳＸシリーズは… ●速度ブレがなく ●振動がなく ●等速で移動が可能 という特長をそなえています。 塗布装置・ディスペンサー・画像検査装置・撮像装置・レーザー装…
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高推力、高速、高精度、等速性、長ストロークに威力を発揮します！
『GHR25』は、高推力、高速、高精度、等速性、長ストロークに威力を 発揮する高性能リニア単軸ロボットです。 動力部非接触のため低騒音で長寿命、さらにメンテナンスフリー。 シンプルな構造で取…
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低騒音、超寿命！高性能なリニア単軸ロボット
『GHR15』は、シャフトモーターを採用した高性能リニア単軸ロボットです。 シンプルな構造で取付が簡単に行えます。 動力部非接触のため低騒音で長寿命、さらにメンテナンスフリー。 高推力、…
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技術と信頼を受け継ぎながら、想像を超えた進化へ
『MELSERVO-J4』は、三菱電機とコラボレーションしたシャフトモーター です。 三菱電機ならではのサーボシステムコントローラを搭載。 装置革新を実現する製品です。 【特長】 ■…
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「シャフトモーター」…GHC独自のシンプル設計のリニア・モーター
Simple is best！ 生まれつき高精度を実現できるリニア・モーター「シャフトモーター」
新しい時代のコアレス・リニア・モーター「シャフトモーター」です。 シャフトに装着された磁石をスライダー（コイル）が360度囲み、高効率かつ高剛性に高精度を実現できる構造を有しています。 サイズはシャフ…
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【性能編】シャフトモーターの高精度位置決めをUVWステージへ展開
摩擦のないシャフトモーターだから、精度劣化がない高精度位置決めステージ
♦シャフトモーターをXY軸それぞれ２モーター配置、高精度の位置決めが可能 ♦摩擦がないため、摩耗による精度の劣化がない ♦XYΘすべての軸をシャフトモーターで駆動するまめ低姿勢で安定した精度を確保 ♦…
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高精度の繰返し位置決め精度を実現「シャフトモーター」
シャフトモーターの精度は併用するリニアエンコーダーに追従します。 エンコーダーの精度が高ければ（分解能が細かい）繰返し位置決め精度はそれにつれて向上し、 分解能が粗ければ、それにつれて繰返し位置決め精…
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シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
※2024.12.11～13 SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！ シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 この…
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