テルモセラ・ジャパン株式会社

★★テルモセラ・ジャパン_薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」★★

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。 研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシ…

◇◆◇ nanoPVD-S10A マグネトロンスパッタリング装置 ◇◆◇

研究開発用RF/DCマグネトロン式スパッタリング装置です。 高性能・多機能にも関わらず、実験室の限られたスペースにもフィットするコンパクトサイズ、7inch前面タッチパネルによる簡単操作。 ● 到…

■□【PyroUSB】□■ USB接続式 高精度赤外線温度センサー

【概要】 標準付属の「CalexConfig」とUSBケーブル（1.8m付属）でWindowsPCに接続、PC上でセンサの測定パラメータ設定、測定結果の解析・CSV出力ができます。 1) 4-20…

◆◇◆【nanoCVD-8G】 グラフェン合成装置◆◇◆

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度制御：±1℃ ◉ 高精度APC自動圧力制御システム：ガス3系統（Ar, H2, …

BHシリーズ【UHV対応 超高温 真空薄膜実験用基板加熱ヒーター】Max1800℃

PVD（スパッタ、蒸着、EB等）、CVDなどの各種真空薄膜実験、高温真空アニール、高温試料解析用基板ステージ、などに応用いただけます。 様々なご要望仕様にカスタムメイド対応致します。 【特徴】…

★【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置★ テルモセラ・ジャパン

コンパクト/省スペース、ハイスペック 60ℓ容積 蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールを組込みことができる、様々な用途に対応可能なマルチ薄膜実験装置 コンパクト/省スペース、ハイスペ…

★【マグネトロンスパッタリングカソード】★ テルモセラ・ジャパン

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率マグネトロンスパッタカソード。メンテナンス性にも優れます。 【特徴】 ・高真空対応 ・Φ2inch、Φ3inch、Φ4in…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】カタログを一新しました！

この度、MiniLabシリーズ薄膜実験装置のカタログを一新しました。 【MiniLabシリーズの特徴】 ◉スパッタ、蒸着（抵抗加熱・有機・EB）、アニール、プラズマエッチング等に対応 ◉モジ…

【SH 真空 基板加用 高温プレートヒーター_Max 1100℃】CVD, PVD真空薄膜用

テルモセラ・ジャパン【基板加熱ヒーター】CVD, PVD等の薄膜実験用に最適な1inch〜4inch超高温基板加熱ヒーターのカタログの最新版に更新しました。 ◉ 最高使用温度850℃（SH-IN）、…

★☆★☆【MiniLab-026】R&D用 フレキシブル薄膜実験装置★☆★☆

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フ…

★☆★☆【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置★☆★☆

MiniLab薄膜実験装置は、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度最適なコンポーネント、制御モジュールを組み込むことにより、セミカスタムメイドで無駄を省いたコンパクトな装置を構築するこ…

★☆★☆【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置★☆★☆

小型・省スペース! 有機薄膜開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。 有機EL, 有機薄膜太陽電池, 有機薄膜太陽電池, 又, グラフェン…

★nano BenchTopシリーズ 薄膜実験装置★

研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を備えます。nanoシリーズはコンパクトボディに機能を凝縮した高性能装置です。 欠陥が少なく良質な成膜に欠かせない要素…

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソード…

【超高温実験炉】シリーズのアップデート情報_2024.7

お客様各位 当社では、従来品より更に高機能・操作性に優れた高温実験炉を近々にアップデートいたします。 本年9月末までに製品ラインナップを一新し、あらたな装置情報をご紹介できることと思います。 …

☆★☆ 【TCF-C500 超高温小型実験炉】Max 2900℃ ☆★☆

コンパクト・省スペース・省エネルギー！ 高性能 R&D用超高温実験炉 小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。 実験室での超高温加熱実験、新素材開…

◆nanoPVD-T15A◆ 高性能 有機膜・金属膜蒸着装置

OLED, OPV, OTFT等の有機薄膜蒸着用途に最適。温度応答性/安定性に優れた低温有機蒸着源、金属膜用蒸着源を採用。 簡単タッチパネル操作でPLC自動制御、各種設定を一元管理。 難しい操…

□■□■【Mini-BENCH 】超高温卓上型実験炉 Max2000℃ □■□■

卓上小型サイズ実験炉・省スペース 最高使用温度2000℃ ◆装置構成◆ 予算・目的に応じてご要望の構成をご提案致します。 (A)最小構成：チャンバー + 温度制御ユニット (B)上記最小…