掲載開始日：2024-09-18 00:00:00.0

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

『最高の性能を最大限に引き出す』

半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。

幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。

【主な用途】
■ 半導体製造
■ エッチング
■ CVD
■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』製品画像

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。「SLA5850 マスフローコントローラノーマルクローズバルブ」は、高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため…

サービス＆サポート

サービス＆サポート製品画像

信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、お気軽にお…

取扱会社

ITWジャパン株式会社

【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計（ローターメータ） ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品　超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア（ケーブル、バルブ等）

公式サイト

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