【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、 水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。 「SLA5850 マスフローコントローラ ノーマルクローズバルブ」は、 高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、 都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため…

信頼できる製品、専門性の高いサービス！機器を“新品同様の状態”に再生します！

当社は、流量制御の深い知識、電気および機械工学の強力なバックグラウンド、 およびバイオテクノロジーの分野における制御システムの深い理解を持つ 経験豊富な技術サポートメンバーを擁しています。 数十年にわたる豊富な経験を有し、機器を“新品同様の状態”に再生。 機器校正サービスのエキスパートが、校正証明書を発行します。 お客様のサービスおよびインストールに関するご要望は、 お気軽にお…