気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。

ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。

【特長】
■ 再現性の高い、高精度なガス供給
■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性
■ 長期にわたる安定したプロセス制御
■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、
プロセスの歩留まりを最大化

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞製品画像

薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。ブルックスインスツルメントのマスフ…

流量・圧力計測機器と関連サービス

流量・圧力計測機器と関連サービス製品画像

耐久性に優れた製品を多数ラインアップ。修理メンテナンスなども対応可能。バイオ・EPC・薄膜業界へのアプローチを紹介した資料進呈

当社では、マスフローコントローラ、プレッシャーコントローラ、トランスデューサなどの、流量・圧力制御に関する機器を販売しています。長期間にわたり安定して動作可能な高信頼製品を多数ご用意。技術研修や校正、修理メンテナンスなどのサービスも提供しています。現在、バイオ・EPC・薄膜業界それぞれに適した機器や特長・導入メリットなどを紹介した資料をまとめて進呈中です。【資料…

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