掲載開始日：2022-08-08 00:00:00.0
プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201/1801』
『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。
半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。
温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに
不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。
詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。
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