掲載開始日：2022-08-08 00:00:00.0

プラズマエッチャーチラー『ThermoRack1201/1801』

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と±0.05℃の温度安定性で
冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。

半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、
ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。

温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、1個のデバイスに
不具合が起きても、約85％の能力を維持したまま稼働します。

詳しくは、下記の関連製品ページまたはPDF資料をご覧ください。

プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801

プラズマエッチャーチラー ThermoRack1201/1801 製品画像

半導体製造工程のプラズマエッチングに好適！消費電力最大93％削減！騒音・振動も防止！

『ThermoRack1201/1801』は、素早い温度応答性と、±0.05℃の温度安定性で冷却・加熱が制御できる、フロンガス不使用の温度制御チラーです。半導体製造工程のプラズマエッチングに最適化されたデザインで、ウエハー、ロット同士の品質のバラつきが改善できます。温度制御部は、7つのペルチェデバイスで構成され、 1個のデバイスに不具合が起きても、約85％の能力を維持した…

取扱会社

エムエス機器株式会社

科学機器の輸入・国内販売及びアフターサービス業務。

公式サイト

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