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【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

半導体や液晶などの製造が行われているクリーンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドー…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価

高分解能測定と波形解析を利用してc-Siとa-Siの状態別定量が可能

半導体の製造工程において表面改質を目的としたイオン照射を行うことがあります。その中で、単結晶 Si表面に不活性元素のイオンを照射することで構造の損傷が生じ、アモルファス層が形成されることが知られてい…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】真空中での有機成分の脱離評価

複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です

TDS（昇温脱離ガス分析法）は真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温しながら脱離成分と脱離温度を確認できる手法です。さらに有機物を同定できるGC/MS（ガスクロマトグラフィー質量分析法）とTDSの結果を…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】イメージセンサの拡散層形状評価

試料解体から測定まで一貫して対応します

本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】走査イオン顕微鏡によるCu表面の結晶粒観察

金属多結晶の結晶粒の大きさや分布に関する知見を得ることが可能です

走査イオン顕微鏡（Scanning Ion Microscope：SIM）は固体試料にイオンビームを照射し、発生する二次電子を検出する手法です。二次電子は各結晶粒の結晶方位に応じたコントラストを生じる…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる温度保持中の脱ガス評価

温度保持中の脱ガス強度の変化を調査できます

TDSは高真空中で試料を昇温、または温度を一定に保持した状態で、脱離するガスをリアルタイムに検出する手法です。 Si基板上SiN膜について350℃で温度を保持し、H2の脱離量を調査した例を示します。…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】はんだボール表面の酸化膜評価

球体形状試料の評価事例

AES分析ではSEM観察機能が付随していることから、試料表面の特定箇所を測定することが可能です。またサブμｍの微小領域での測定が可能なため、基板等の平坦試料だけではなく、球体形状や湾曲形状の試料で…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

試料断面における応力分布を確認することが可能です

単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。 IGBT…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CMOSセンサの総合評価

スマートフォン部品のリバースエンジニアリング

市販品のスマートフォンからレンズ、CMOSセンサチップをそれぞれ取り出し、評価した事例をご紹介します。目的に応じて研磨・FIB加工により、平面、断面を作製し、TEM,SEMにより層構造やレイヤーを…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMデータ集

AFM :原子間力顕微鏡法

AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

特殊シリンダメカニカルパワーシリンダ「MCPシリーズ」

空気圧源のみで、2t 及び5t の高推力を発生する増力タイプのエアシリンダです。カシメや圧入工程に最適です。

【増力】機械的な増力機構で同サイズのエアシリンダの8倍の推力。【省スペース】推力増幅のためのユニット等を必要としないコンパクトな機構。【環境対応】空気圧源のみで駆動しオイル…

メーカー・取扱い企業：ＣＫＤ株式会社

【分析事例】TDSによるステンレス中水素脱離量の分析

TDS（昇温脱離ガス分析法）で金属中水素の脱離量の評価が可能です

鋼材など多くの金属材料は、常温で結晶格子内を拡散する拡散性水素により劣化（水素脆化）することが知られています。今回は水素を添加したステンレス板（SUS316L）について、TDSで水素の脱離量を評価した…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】DRAMチップの解析

製品内基板上DRAMのリバースエンジニアリング

代表的なメモリであるDRAMについて製品レベルからTEM観察による素子微細構造解析まで一貫して分析します。外観観察からレイヤー解析、Slice＆Viewを行うことで構造の全体像を把握し、FIB加…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】スマートフォン用保護フィルムのAFM分析

感覚的な製品の出来映えを定量評価可能

スマートフォンの普及率は年々増加し、それに併せて表面に貼る保護フィルムも機能が多様化しています。今回、指紋防止及び反射防止機能を持つ2種(A,B)のフィルムについて、AFM分析により、手触りのよう…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SMARTRAC「UHF帯 RFID ICタグ UCODE7」

【NEW】SMARTRAC UHF帯IC タグ・インレイ最新情報：UCODE7

NXP社の最新ICチップを搭載したUHF帯ICタグ・インレイをご案内します。国内在庫品なので、小ロットからでもご購入可能です。新製品をこの機会に是非ご評価・ご検討願います。

メーカー・取扱い企業：日精株式会社本社

【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析

デバイス内部の構造を複合的に評価します

MSTでは電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。本資料では、X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した事例を紹介…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

押込式インサートナット　B-ロックの装着方法

Ｂ−ロックは外周部分の形状が樹脂の種類の特性に適合するようデザインしてある為、あらゆる種類の樹脂部品に使用できます。 ※B-ロックの装着方法の注意点　●相手側部品のボルト穴の径はＢ−ロックの…

メーカー・取扱い企業：ケー・ケー・ヴィ・コーポレーション株式会社

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

角度分解XPS（ARXPS）はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオン…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析

像シミュレーションを併用した結晶形の評価

高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は素子の高集積化が可能であり、SiCデバイスへの応用展開も進められています。一方、SiCデバイスのドーパント活性…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによるグラフェンの脱ガス分析

炭素材料中の官能基や不純物などに起因する脱ガスについて評価可能です

グラフェンの電子放出素子への応用や、カーボンナノチューブへの水素貯蔵など、炭素材料は真空中での用途が増えてきています。そのため真空中での炭素材料からの脱ガスを評価することは、今後の炭素材料の応用の上で…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによるμmオーダーの深さ方向分析

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部…

メーカー・取扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【サニタリー用】Asepic接続型ダイアフラムシール

Aseptic connection per DIN 11864準拠品。SIP、CIP対応。EHEDG, 3-A認証取得済。

DIN 11864に準拠しており、非常に高い衛生基準を満たした接液部構造です。接続部はメンテナンスフリーとなっており、メンテナンスが容易です。 SIPプロセスで発生する洗浄蒸気温度に耐えるこ…

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