弊社では、半導体製造装置テスト用のモニターウェーハ・ダミーウェーハ、太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ・ＳＯＩウェーハ・拡散ウェーハなどを取り扱っております。
お客様の用途に合わせて適したウェーハをご紹介させていただきます。
CZウェーハは直径1インチ以下から450mmまでご提供が可能です。
また貴社でお持ちのウェーハにＥＰＩ成膜を行ったり、SOIウェーハへの加工なども対応可能です。
ＣＺウェーハ以外にも高抵抗ＦＺウェーハやサファイア、ゲルマニウム、化合物半導体、多結晶シリコンなども取り扱っております。
詳しくはお問い合わせ下さい。
基本情報1インチ以下～450ｍｍで提供可能 「CZウェーハ」
【特徴】
○1インチ以下から450mmまで提供可能
○各種成膜加工が可能
○パーティクルグレード・モニターグレード等用途に合わせて紹介可能
○ＥＰＩ受託加工
〇FZウェーハ
直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗ウェーハを取り扱っております。
〇ＳＯＩウェーハ
CZ・FZウェーハを使用した新規作成での対応も可能です。
新規作成の場合,最小枚数は10枚程度からのご提供になります。
直径：3inch-12inch
SOI層：2-200um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
SiO2(酸化膜）層：50nm-2um程度(0.1-10umも対応可能）
支持基板：300-725um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能）
数量：在庫品の場合は数枚程度から対応可能
＊基板支給をSOIウェーハに加工することも可能です。
〇拡散ウェーハなども対応可能
○半導体製造装置テスト用：モニターウェーハ・ダミーウェーハ
○太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ
●詳しくはお問い合わせ下さい。
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
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| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ下さい。 |
カタログ1インチ以下～450ｍｍで提供可能 「CZウェーハ」
取扱企業1インチ以下～450ｍｍで提供可能 「CZウェーハ」
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【主な取扱商品】 テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度・パーティクルチェック用・COP対策品）、コインロールウェーハ、SOI、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ、GaAs、Ｇｅ，サファイア、石英、等。 各種加工｛成膜・グラインダー(50μm以下も可能）ダイシング・サイズダウン・パターニング・Si再生研磨加工・洗浄加工}も対応可能です。 【CZウェーハ】 ■直径は1インチ〜450mmに対応可能 ■成膜加工可能 ■テストパターン付ウェーハ(4インチ〜12インチ）も対応 ■レチクルご支給によるテストパターニング受託も対応 【FZウェーハ】 直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗シリコンウェーハを取り扱っております。製法はノンドープ、ガスドープ、中性子照射品などがあり、高ライフタイム、低酸素・低炭素濃度が特徴です。 【用途例】 □各種試作研究開発 □半導体製造装置評価 □太陽電池ウエハ… シリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品も取り扱っております。 化合物半導体や各種電子材料も取り扱っております。
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