シグマ光機株式会社 1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置(フィードバックステージシステム)。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

基本情報1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

■ステージ
最小分解能:1nm(内蔵スケールの読み取り値に対して)
ストローク:20mm~50mm
最大移動速度:5mm/sec(UPシリーズ)
■コントローラ
制御軸数:2
最小指令単位:1nm
最大動作速度設定値:6mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます)
制御インターフェース:ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 微細な位置決めを必要とする様々な分野。
検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用
バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど

ラインナップ

型番 概要
FS-1050UPX 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、50mmストロークのステージ
FS-1040UPX 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、40mmストロークのステージ
FS-1020UPX 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、20mmストロークのステージ
FS-1050SPX(MD) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、50mmストローク、高トルクのステージ
FS-1040SPX(MD) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、40mmストローク、高トルクのステージ
FS-1020SPX(MD) 1nm分解能(内蔵スケール読み取り値)、20mmストローク、高トルクのステージ
FC-911 1nm分解能ステージ用のコントローラ

カタログ1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

取扱企業1nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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