1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）シグマ光機

リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め　可動範囲最大50mm

光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。

ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、
『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、
幅広い用途で利用されています。
ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。

位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。

■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

関連リンク - https://www.global-optosigma.com/jp/

基本情報1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

■ステージ
最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して）
ストローク：20mm～50mm
最大移動速度：5mm/sec（UPシリーズ）
■コントローラ
制御軸数：2
最小指令単位：1nm
最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます）
制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O

価格帯	お問い合わせください
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用途／実績例	微細な位置決めを必要とする様々な分野。検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど

ラインナップ

型番	概要
FS-1050UPX	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークのステージ
FS-1040UPX	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークのステージ
FS-1020UPX	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークのステージ
FS-1050SPX(MD)	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストローク、高トルクのステージ
FS-1040SPX(MD)	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストローク、高トルクのステージ
FS-1020SPX(MD)	1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストローク、高トルクのステージ
FC-911	1nm分解能ステージ用のコントローラ

カタログ1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

取扱企業1nmフィードバックステージシステム（精密位置決め装置）

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステムレーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ