シグマ光機株式会社 真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。

自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。

40mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。

基本情報真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
 リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ:80mm×80mm
○テーブル移動量:40mm
○繰返し位置決め精度:±10nm
○対応真空度:10^-4Pa
○最小分解能:5nm
○最大移動速度:2mm/sec
○対応コントローラ:FC-611

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FS-1040SPX(V) / FS-1040SPXY(V)
用途/実績例 走査型電子顕微鏡
X線利用技術
超微細加工
精密な位置決めや再現が必要な検査装置や
実験機などに利用されています。

カタログ真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

取扱企業真空対応5nmフィードバックステージ 40mm動作

シグマ光機.png

シグマ光機株式会社

■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機(集光光学系)、レーザ加工機(すきゃにん光学系)、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ

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