真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。
ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。
20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
基本情報真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：60mm×60mm
○テーブル移動量：20mm
○繰返し位置決め精度：±10nm
○対応真空度：10^-４Pa
○最小分解能：5nm
○最大移動速度：２mm/sec
○対応コントローラ：FC-611
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1020SPX(V) / FS-1020SPXY(V) |
| 用途／実績例 | 走査型電子顕微鏡 X線利用技術 超微細加工 精密な位置決めや再現が必要な検査装置や 実験機などに利用されています。 |
カタログ真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作
取扱企業真空対応5nmフィードバックステージ 20mm動作
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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