[新型フィードバックステージコントローラの特長]
従来品との互換性を残しつつ、
・通信コマンド数の増加
・ティーチング機能追加
・USBインターフェース追加
・パラメータ数増加
などの追加により。多機能になりフィードバックステージの状態把握や細かなパラメータを設定することができます。
[高分解能位置決め装置の特長]
フィードバックステージと新型フィードバックステージコントローラで構成されています。
フィードバックステージ内蔵のリニアエンコーダで検出する位置情報をもとにフィードバック制御するため高分解能かつ高い再現性が得られます。
[導入メリット]
・高い位置決め再現性による作業効率の向上
・高分解能動作による微調整が可能
・長い可動範囲による、試料の移動と微調整が1つのフィードバックステージで可能
詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードください。
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基本情報リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置
○1nm分解能位置決め装置
分解能：1nm（内蔵エンコーダの読取値に対して）
最大移動速度：5mm/s（FC-911コントローラ使用時）
可動範囲：20mm～50mm
○10nm分解能位置決め装置
分解能：10nm（内蔵エンコーダの読取値に対して）
最大移動速度：10mm/s（一部ステージを除く）
可動範囲：20～200mm/s
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1020UPX | 1nm分解能位置決めステージ、20mm可動範囲、リニアエンコーダ内蔵 |
| FC-911 | 1nm分解能位置決めステージコントローラ、モータードライバー内蔵、フィードバック制御、 |
| FS-1050PX | 10nm分解能位置決めステージ |
| FC-511 | 10nm分解能位置決めステージコントローラ |
カタログリニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置
取扱企業リニアエンコーダ内蔵 高分解能位置決め装置
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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