SOSウェーハはサファイアのR面の基板上にシリコンをエピタキシャル成長させたウェーハです。
圧力センサーなど様々なデバイスに使用されています。また放射線に対する耐性が高いのが特徴です。
3インチ(76mm)、4インチ(100mm)、6インチ(150mm)のSOSウェーハをご紹介可能です。仕様によりますが8インチも対応可能な場合がありますので是非お問い合わせください。
エピ層のドーパントはN型はPhosphorous、P型は Boronになります。
少量から対応可能です。
基本情報3インチ、4インチ、6インチに対応可能 「SOSウェーハ」
標準的な主な仕様は下記のようになります。
直径：150ｍｍ
エピ厚：0.3um+/-10%
面内均一性 um (%)：0.05um(16.7%)
エピ抵抗：>30ohm cm
UVR：<1.0
直径：100ｍｍ
エピ厚：0.3um+/-10%
面内均一性 um (%)：0.05um(16.7%)
エピ抵抗：>30、5-30、2.5-10 ohm cm
UVR：<1.0
直径：100ｍｍ
エピ厚：0.6um+/-10%
面内均一性 um (%)：0.09um(15%)
エピ抵抗：>30、5-30、2.5-10 ohm cm
UVR：<0.75
主な仕様は上記になりますがご希望の仕様がある場合はお問い合わせください。
| 価格情報 | 直径、仕様、数量によって変わりますのでお問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※製品により短納期が可能です。 |
| 用途／実績例 | 圧力センサー等に様々なデバイスに使用されています。 |
カタログ3インチ、4インチ、6インチに対応可能 「SOSウェーハ」
取扱企業3インチ、4インチ、6インチに対応可能 「SOSウェーハ」
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【主な取扱商品】 テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度・パーティクルチェック用・COP対策品）、コインロールウェーハ、SOI、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ、GaAs、Ｇｅ，サファイア、石英、等。 各種加工｛成膜・グラインダー(50μm以下も可能）ダイシング・サイズダウン・パターニング・Si再生研磨加工・洗浄加工}も対応可能です。 【CZウェーハ】 ■直径は1インチ〜450mmに対応可能 ■成膜加工可能 ■テストパターン付ウェーハ(4インチ〜12インチ）も対応 ■レチクルご支給によるテストパターニング受託も対応 【FZウェーハ】 直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗シリコンウェーハを取り扱っております。製法はノンドープ、ガスドープ、中性子照射品などがあり、高ライフタイム、低酸素・低炭素濃度が特徴です。 【用途例】 □各種試作研究開発 □半導体製造装置評価 □太陽電池ウエハ… シリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品も取り扱っております。 化合物半導体や各種電子材料も取り扱っております。
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