サムコ株式会社 【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~

Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています

当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を
ご紹介しています。

Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAで
Arビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■はじめに
■Aqua Plasmaの効果
■ESCAによる表面―深さ分析結果
■フォトレジストの除去レート
■新製品

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基本情報【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~

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取扱企業【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~

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サムコ株式会社

半導体等電子部品の製造・販売を行っています。 最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。

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