Aqua Plasmaの効果として、ESCAによる表面の深さ分析結果などを掲載しています
当資料では、アクア プラズマの画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術を
ご紹介しています。
Aqua Plasmaの効果として、銅サンプル表面の酸化深さをESCAで
Arビームエッチングを用いながら組成分析した結果などを掲載。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容】
■はじめに
■Aqua Plasmaの効果
■ESCAによる表面―深さ分析結果
■フォトレジストの除去レート
■新製品
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基本情報【資料】アクア プラズマ~画期的な銀電極、銅電極の表面処理技術~
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