GaNマイクロLEDメサ加工の結果、GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載！
当資料では、マイクロLED向けのICPエッチングの加工例を
ご紹介しています。
実験及び結果として、GaNマイクロLEDメサ加工の結果や
GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データなどを掲載。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容】
■実験及び結果
■GaNマイクロLEDメサ加工の結果
■GaNマイクロLEDメサ加工中の発光分光データ
■まとめ
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基本情報【資料】～マイクロLED向けICPエッチングの加工例～
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