ウシオ電機株式会社 ロゴウシオ電機株式会社

最終更新日:2023-12-07 17:03:42.0

  •  

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

【事例紹介】食品の保温(加熱)

【事例紹介】食品の保温(加熱) 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、食品の保温(加熱)の事例紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータは点灯することで
 可視光と赤外線、つまりあかりを照射するとともに
 熱放射を行う。この特性を利用し食品の保温を兼ねた
 ショーケースとして利用される
○投入するエネルギー量のよっては、保温のみならず
 加熱調理用電源としての利用も可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』

ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』 製品画像

ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源
太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です

【特徴】
○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は
 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用
○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において
 長年実績を積んだ長尺ヒータは
 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例紹介】浴室乾燥

【事例紹介】浴室乾燥 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、浴室乾燥の事例紹介です

【特徴】
○浴室乾燥機にハロゲンヒータを採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として照射されるため
 温風タイプとは異なり、周囲環境に左右されにくく
 点灯直後から暖かく感じることができる
○ヒータの電極部分はシリコン接着剤を使用した
 耐水構造を施しており、高湿度環境下でも信頼性を
 損なうことなく、使用することが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』

ウシオの光で出来ること『高速昇降温加熱』 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(高速昇降温加熱)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○熱容量が小さく、3000K以上のフィラメントから照射される
 輻射光により、高温/急速昇降温といった加熱特性に優れた熱源
○半導体や耐用電池の熱処理プロセスにおいて
 酸化膜形成、不純物拡散、シリサイド形成、電極焼成など
 多くの工程で使用される

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける
 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる
 CVDやスパッタリング装置の熱源として最適
○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを
 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用
○ハロゲンヒータの光は輻射熱として
 照射されるため、温風タイプとは異なり
 周囲環境に左右されにくく
 短時間で所定温度まで昇温が可能
○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』 製品画像

統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ
○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い
 その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化
○クセノンフラッシュランプの特性を活かし
 ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して
 極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし
 不純物の拡散を防ぐことが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

ウシオの光で出来ること 熱する『乾燥』

ウシオの光で出来ること 熱する『乾燥』 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源の実用例(乾燥)のご紹介です

【特徴】
○使用光源:ハロゲンランプヒータ
○ハロゲンランプヒータの非接触・クリーンで
 高速昇温性を持つ光加熱方式により
 金属箔など、ホコリ、ゴミが許されない製品の乾燥において
 従来の熱風式過熱炉にとってかわりつつある
○溶剤、インキ、印刷物の乾燥た鋼板の塗装乾燥
 自動車塗装の乾燥用途に有効

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス) 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。

かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが
ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり
アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。

また、次世代半導体においては、熱流束技術として
フラッシュランプアニールが主流となっています。

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート 製品画像

統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。

真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った
ハロゲンランプヒータを使用することにより
半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において
タクトタイム短縮に貢献することができる

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例紹介】電極の焼成

【事例紹介】電極の焼成 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、電極の焼成の事例紹介です。

ハロゲンヒータを使用することで、ハロゲンヒータが持つ
高速昇温性、配熱分布や放射波長により
基板や電極材料の特性にマッチした熱処理を行うことができる

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱 製品画像

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の
光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です

【特徴】
○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄
 液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される
 純水や薬液を保温・加湿することが可能
○高品質の石英ガラスで2重に覆われた
 ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく
 加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能

●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 (詳細を見る

光加熱 総合カタログ

光加熱 総合カタログ 製品画像

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を
掲載しております。

広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、
シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ
「QIR Circle」などをラインアップ。

その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と
「LED アニール装置」についてもご紹介しています。

【掲載内容(一部)】
■光加熱とは
■赤外線ハロゲンヒータ
■赤外線ハロゲンヒータの用途
■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工
■直管形ハロゲンヒータランプ QIR

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』 製品画像

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を
アニールする光応用加熱装置です。

UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの
光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。

焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に
お使いいただけます。

【特長】
■スペクトル
・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性
■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度)
・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、
 大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

図で分かる!光加熱とは※紹介資料進呈中!

図で分かる!光加熱とは※紹介資料進呈中! 製品画像

物質を構成する分子は、常に振動を繰り返すことによって物質そのものの
温度を保っています。

そして、この運動に一定の光を照射するとさらに振動が大きくなり、
それに比例して発生する熱も多くなります。これが「光加熱の原理」です。

熱伝達は物理的に三種類に限られ、光加熱は「放射伝熱」にあたります。
光加熱の得意とする分野とプロセスは熱処理、DEGAS、反応、蒸着、乾燥になります。

【熱伝達の三原則】
■熱伝導
・物質中で、物質の移動や放射によるエネルギー輸送なしに、温度差に基づいて
 熱が移動する現象
■対流伝熱
・流体の実質の流れによって熱が伝えられる現象
■放射伝熱
・熱放射と熱吸収によって熱が伝えられる現象

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

優れた昇降温性能!小型・クリーンな熱源「ハロゲンランプヒーター」

優れた昇降温性能!小型・クリーンな熱源「ハロゲンランプヒーター」 製品画像

『ハロゲンランプヒーター』は、投入電力の85%以上を赤外線に変換、
放射する高効率なランプ式放射加熱源です。

消費電力の抑制は、ランニングコストの低減を実現。

熱容量の小さなタングステンフィラメントを発熱体とし、非接触での
高速昇降温が可能です。また、常時電力を消費する抵抗加熱源と異なり、
必要時ON、不要時OFFが可能であり、ランニングコストを低減します。

【特長】
■高効率なエネルギー源
■優れた昇降温性能
■材料吸収特性にマッチングした光波長
■高いコントロール性能
■小型・クリーンな熱源
■長寿命で一定のエネルギー放射

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

非接触なのでクリーン!高効率&省エネルギー「フラッシュランプ」

非接触なのでクリーン!高効率&省エネルギー「フラッシュランプ」 製品画像

大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能な
『フラッシュランプ』についてご紹介します。

当製品による光加熱は、物質の持つ「反射」、「透過」、「吸収」の
特性のうち、「吸収」の特性を利用して自己加熱させるものです。

また、非接触であるためクリーンな雰囲気を保ち、大気中・真空中など
加熱雰囲気も問いません。

【特長】
■大面積一括照射
・大面積基板への一括照射による高スループットを実現可能
■高効率/省エネルギー
・当製品からの波⻑はSiの吸収特性に合致するため、効率よく昇温が可能
■パルス制御による処理深さのコントロール
・基板の熱ダメージを最小限に抑え、表層のみ加熱することが可能

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【論文】ハロゲン電球の基礎※情報公開中!

【論文】ハロゲン電球の基礎※情報公開中! 製品画像

10nm(10×10-9m)~10万nmの波長をもつ電磁波を「光」といい、
この波長域の電磁波を発生する放射体をすべて「光源」といいます。

わたしたちが、ふつうに光といえば、可視光線をさしていますが、
これは400nm~750nmの波長を持つ電磁波で、これより短かい波長
(10nm~400nm)の光は紫外線、長い波長(750nm~10万nm)の光は
赤外線と呼ばれています。

続きは、関連リンクをご覧ください。

【掲載内容(一部)】
■1. 光とハロゲン電球
■2. ハロゲン電球(HALOGEN LAMP)
■3. ハロゲン電球の特長
■4. ハロゲン電球の品種構成
■5. ハロゲン電球の構造と各部の名称

※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。
 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【論文】ハロゲンランプの寿命と各種要因の役割※情報公開中!

【論文】ハロゲンランプの寿命と各種要因の役割※情報公開中! 製品画像

ハロゲンランプが寿命となる主な原因は次のものである。

(1)黒化による照度低下 (2)フィラメント溶断 (3)サグによる
コイルピッチ・ショート (4)シール部の故障

これらのうち、最初の3つの原因による寿命要因はハロゲンサイクルに
関係することが知られていたものの、その理解は大変貧しいものでした。

しかし、最近FourierTransform Infrared(FT-IR) Spectroscopyによって、
それらの寿命要因となるガスフェーズの測定が発表され、寿命となる
運動学的モデルがかなり明らかになってきました。

【掲載内容(一部)】
■1.はじめに
■2.点灯中のCOとHBrガスの振る舞い
■3.ランプ点灯中の酸素放出と寿命
■4.COレベルと寿命
■5.HBrレベルと寿命

※当論文の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。
 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

ウシオ電機株式会社

光イノベーション・カンパニー ウシオは、「光のイノベーション」を通じて、 豊かな社会・生活の発展に貢献してまいります。 【ウシオ電機事業紹介】 https://www.ushio.co.jp/jp/company/about/

光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須

ご要望必須


  • あと文字入力できます。

目的必須

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

ウシオ電機株式会社


成功事例