各種液体流量を精密計測します 0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ（当社CVシリーズ）と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ（特許出願中）採用、 　 電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、 　　高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

気体、液体、圧力制御が可能な高速応答ピエゾコントロールバルブです ビエゾコントロールバルブCV-3000シリーズは、外部からの制御入力により気体、液体の流量制御、あるいは圧力制御などが可能な高速応答バルブです。 制御方法として、オーブンループ式ならびにクローズドループ式が使用できます。 【特長】 ○積層圧電素子を用いたバルブの為、高速制御可能 ○高推力、高分解能バルブの為、微小流量、低圧力の精密制御可能 ○気体ならびに液体の流量制御および圧力制御可能 ○接続部は、金（Au）製メタルシールを採用しているので、 　 実質的にリークフリー ○パーティクルフリーの材質、構造設計 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローメータです マイクロプロセッサ内蔵の高機能デジタルマスフローメータです。 【特長】 ○高分解能（16ビット）A/D、D/Aコンバーターの採用による高精度化 ○アラーム出力機能を標準装備 ○アラーム状態表示ＬＥＤを装備 ○オートゼロ機能装備 ○汎用デジタルインターフェースを装備 ○デバイス番号の設定が可能 ○従来品との電気的互換性を保持 ○コンパクトなボディサイズ ○メタルシールを採用 ○ボディ内部精密研磨を標準装備 ○各種ガスの流量測定 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです 独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです 独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

S-LABOシリーズに最適！高いガス純度保持力をもつ流量計 『S-LABO流量計』は、S-LABOシリーズに合わせて使いやすく設計した流量計です。 クリーンルーム内で洗浄組み立てているので、ガスの純度保持に優れております。 さらに、バルブにはガスの純度保持に優れているフッ素系グリスを使用しています。 【特長】 ■接ガス部金属は真鍮とステンレスの2種類をご用意 ■クリーンルーム内で洗浄組み立て ■バルブにはガスの純度保持に優れたフッ素系グリスを使用 ■オプションでヘリウムリークテストを実施 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。

高精度高安定センサー採用！新設計デジタルモジュールシステム！ 『2150断面流速流量モジュール』は、デジタルテクノロジーにより、 高精度・高安定・長寿命を実現した流量計です。 センサー内で全ての測定データをデジタル化し、 本体は外部ノイズの影響を受けないデジタルデータで本体と通信します。 また、センサー内に温度センサーを備え、 予め工場にて複数温度・複数水位のテーブルをインプットしているため 温度による誤差が大きく低減されます。 【特長】 ■新設計流速センサー採用 ■高精度測定センサー採用 ■長期安定性センサー搭載 ■大容量メモリー搭載 ■バッテリー低下時にデータ間隔の調整可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

大流量用として設計された面積式流量計！ 『RPVII TYPE パネルタイプ』は、RPVに比べて大流量用として設計 された面積式流量計です。 ニードルバルブにより、計測制御の調整ができるので、各種機器装置の 計測制御に適しております。 【特長】 ■大流量用 ■計測制御の調整が可能 ■各種機器装置の計測制御に適する ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ゼロ点補正が不要！管内の材質にセラミックスを採用し耐摩耗性を向上 『PC-1032CN』は、高炉に吹き込まれている微粉炭の流量を計測し、 炉内温度制御を可能にした静電容量式の粉体流量計です。 流量計管内の粉粒体の付着、及び管内磨耗による誤差を キャンセルする機能を搭載。（特許取得） 管内の材質にセラミックスを採用し耐摩耗性を向上しました。 【特長】 ■ゼロ点補正が不要 ■耐摩耗性向上 ■使用環境に配慮 ■搬送微粉炭温度80℃(常時） ■蒸気パージ120℃（5分間） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

必要最小限の構成により低価格を実現！安定した混合ガスの供給が可能！ 『CUBE GMシリーズ』は、マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・ 逆止弁・ガスミキサーをオールインワンしたユニットタイプのガス混合器です。 IN側とOUT側に配管を接続するだけで2～4種類のガスを任意の流量に 設定・制御して、混合ガスを供給します。 各種分析、実験研究、培養、バイオ、医薬、医療、パッケージングなど 幅広い用途でご使用頂けます。 【特長】 ■マスフローコントローラ「C1000シリーズ」と制御電源「PA01PS」で 　構成したユニットタイプの低価格ガス混合器 ■圧力・温度の影響を受けにくく、安定した混合ガスの供給が可能 ■対応ガス種：不活性ガス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。