化学薬品のハンドリングに最適なバルブをご提案 ハイテク分野の多くでは,プロセス流体の純度が製品の品質と生産量を決定します。 GEMÜ製品は生産設備の中で,洗浄,コーティング,エッチング,充填プロセスの流体制御を担っています。 化学薬品の供給分野におけるGEMÜ社の強みは,あらゆるアプリケーションに対応する豊富なラインナップと,高耐久で流体の純度を低下させないことです。

溶剤供給システム向けのバルブをご提案 半導体産業では,物質の溶解や洗浄のために有機溶剤が使用されています。 洗浄に用いられる溶剤は特に腐食性が強く,取り扱いが困難なため,バルブには高い耐薬品性が求められます。 GEMÜは高いKv値と耐薬品性を兼ね備えた製品群を提供致します。 製品は純度を保つため,原則としてステンレスおよびPFAで製作しています。

研磨性スラリーのハンドリングに最適なバルブをご提案 スラリーのハンドリングは,主に3ステップに分けられます。 ・調整と混合 ・供給と輸送 ・除去と回収 GEMÜ製品は抵抗の少ないシート形状で,バルブと流体の双方に負荷をかけない設計となっています。 接液部の材質はすべてPTFEまたはPFAとし,十分な耐薬品性を備えるとともに,砥粒を含むスラリーの研磨性に対しても高い耐久性を持ちます。

ケミカルリキッドのハンドリングに最適なバルブをご提案 ウェットプロセスとは生産システムの中で液体,特にケミカルリキッドを施用する工程を指し,半導体製造のコアとなる工程です。 GEMÜ製品は接液部がPTFEまたはPFAによってできており,腐食性ケミカルに影響を受けない高い耐薬品性を持ちます。 また,省スペース,フレキシブルでコンパクトなデザイン,そして圧力損失を抑えた高い流量能力といった付加価値も提供いたします。

腐食性ケミカルに最適なバルブをご提案 GEMÜのバルブ,計測器,制御システムはウェットプロセスに使われるような腐食性ケミカルに接しても素材の溶出を起こさず,流体の純度を高いまま保持します。 GEMÜ社よりPFA製のダイアフラムバルブ,ブロックバルブ,圧力計,超音波流量計が提案できます。

太陽電池製造プロセス向けの耐薬品バルブ 太陽電池の製造にもウェットプロセスが組み込まれており,ここでは流体の純度が保たれること以上に,コンポーネントの耐薬品性が重視されます。 GEMÜ社はPFA,PVDF,PPコンポーネントを幅広く提供しております。

用途に合わせた最適なコンポーネントをご提案 半導体や太陽電池の生産工程以外にも,ウェットプロセスは至るところにあります。それぞれの産業分野の各生産分野の皆様とともに,GEMÜは最適な製品群の構築に長く努めてまいりました。 GEMÜからはPP,PVDFコンポーネントが使われます。

CMPスラリーに最適なバルブのご提案 CMPスラリーのアプリケーションには極めて厳しい仕様要求があります。GEMÜのコンポーネントはその要求を満たしながら,流量を最大化する構造を持ち,研磨性スラリーを安全に運びます。 このアプリケーションには,GEMÜよりPFA製のダイアフラムバルブ,グローブバルブ,計測器,フィッティングチューブをご提案できます。

一般工業生産規模の化学薬品供給輸送までできる製品群 多量のケミカル流体を使用する一般工業分野でも,GEMÜの各種フッ素樹脂製コンポーネントはご使用頂けます。 バルブは最大100A(4')のサイズまでラインナップしております。

必要十分な純度保持性能とコストベネフィットを両立する製品群 このアプリケーションでは,GEMÜのPFAおよびPVDF製バルブが使われます。 高品質な材料とメタルフリー構造で,高純度な流体のハンドリングに適しています。