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半導体装置BATCHSPRAY Solvent Autoload
BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に…
この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出(EPD)...
メーカー・取り扱い企業: Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
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半導体装置『BATCHSPRAY Acid Autoload』
BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に…
この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出(EPD)...
メーカー・取り扱い企業: Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
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BATCHSPRAY Acid/Solvent Autoload
BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に…
この2チャンバーシステムは、優れたエッチングの均一性を提供するだけでなく、化学物質を節減します。そして、すべてのタイプのウェットエッチングプロセスに対応しています。 高い精度のタンク内における化学物質の混合、エンドポイント検出(EPD)...
メーカー・取り扱い企業: Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
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BATCHSPRAY Acid/Clean Autoload
BATCHSPRAY技術に100%フォーカス!水・排気・化学品を大幅に…
この3チャンバーシステムは、特許取得済みのリテイナーコーム処理システムを使用することで、あらゆるタイプのウェットエッチングプロセスと洗浄アプリケーションに対応しています。酸/洗浄の組み合わせにより、高いプロセスの柔軟性と高いスループットを達成できます。過酸化物や硫酸の代わりにSicOzoneを使用して洗浄やレジスト...
メーカー・取り扱い企業: Siconnex Japan(サイコネックス ジャパン)合同会社
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