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装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。
ンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。 装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。(例:現像→エッチング→洗浄、乾燥) 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行いま…
WETプロセス装置 LCD枚葉エッチング装置は、LCD用基板を水平搬送にて、エッチング・シャワー洗浄、乾燥処理を行います。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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スピン&スプレーを併用し、高精度で均一なプロセスを実現しました。
WETプロセス装置 マルチスピンプロセッサーは、基板をスプレー方式にて現像/エッチング/乾燥処理を行ないます。 株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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マスクをブラシ・USスプレーで洗浄、高速スピン回転で乾燥します。
により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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基板を水平搬送にて、各種洗浄、乾燥処理を行います。
、乾燥処理を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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圧縮エアーとスピン回転の併用により高レベル乾燥を実現しました。
により乾燥を行なう 【WET関連装置】 ○マルチスピンプロセッサー ○枚葉スピンプロセッサー ○枚葉基板洗浄装置 ○LCDマスク洗浄装置 ○LCDカセット洗浄装置 ○LCD枚葉エッチング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社電子技研
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