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局所的なエッチング領域を形成!走査することによる高精度形状創成
【主な仕様】 ■装置構成 ・装置本体(クリーンルーム対応) ・操作パネル部(クリーンルーム対応) ■加工対象物:合成石英・Si・SOLウェハ・水晶ウェハ ■主制御部:5軸NC制御 ■テーブルスクロール ・X軸:350mm ・Y...
メーカー・取り扱い企業: 明昌機工株式会社
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4連続転写が可能!3種類のナノインプリント機能を備えたナノインプリンタ…
【仕様】 ■装置構成:装置本体(クリーンルーム対応)・冷却水循環装置 ■基板サイズ ・モールド:φ2インチ以下 ・試料基板:φ4インチ以下 ■基板温度調整範囲:20~200℃ ■ステップ&リピート:X,Y方向±15mm ■外...
メーカー・取り扱い企業: 明昌機工株式会社
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3種類のナノインプリント機能搭載!温度や圧力の条件を自由に設定可能です
【仕様】 ■装置構成 ・装置本体(クリーンルーム対応) ・冷却水循環装置 ■基板サイズ ・モールド:φ2インチ以下 ・試料基板:φ4インチ以下 ■基板温度調整範囲:20~300℃ ■ステップ&リピート:X.Y方向±15mm ■...
メーカー・取り扱い企業: 明昌機工株式会社
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