クライオポンプ　CRYO-U 4H

4型の最高性能クライオポンプ

4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステム ◆クライオポンプ群の集中管理・制御システム「UCIS/ユーシス」 さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、水分の...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社